판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher는 얇은 영화를 에치 앤 애쉬 할 수 있도록 개발 된 고급 제조 장치입니다. 공정 챔버, 컨트롤러 유닛 및 저항 챔버로 구성됩니다. 공정 챔버는 PVC (Polyvinyl Chorephtalate) 로 만들어졌으며 2 개의 정전기 패드와 플라즈마 전원이 들어 있습니다. 정전기 패드는 에칭/애싱 프로세스 (etching/ashing process) 동안 균일하고 안정적인 조건에서 필름을 유지하는 역할을합니다. 플라즈마 전원은 박막을 에치 앤 애쉬하는 데 사용됩니다. 컨트롤러 장치는 GUI 에 의해 제어되며, 시스템과 운영자 간의 통신을 제공합니다. 컨트롤러 장치를 사용하면 온도 및 압력 설정을 조정하여 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스를 최적화하고 작업을 간소화할 수 있습니다. Rainbow 4420은 반응성 이온 에칭 및 이온 보조 재 기술을 사용하여 매우 얇은 필름을 에칭하고 재로 만듭니다. 얇은 막은 반응성 플라즈마 (reactive plasma) 에 노출되어 물질 결합의 해리와 얇은 막의 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 가능하게한다. 반응성 "플라즈마 '는 전원 공급 장치 의 끝 에 위치 한" 플라즈마' 도구 에 의해 생성 된다. 약실 은 압력 이 적고 온도 가 높은 곳 에서 기능 을 발휘 하며, 박막 "에칭 '과" 애싱' 의 속도 가 높아 전체 기판 에 균일성 이 있다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 하나의 프로세스 챔버에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 모두 수행할 수 있으므로 효율성이 높습니다. 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 과 공정 챔버 냉각 시스템 (Process Chamber Cooling System) 이 장착되어 있어 재현 가능한 결과로 고정밀 처리를 달성할 수 있습니다. 또한 Rainbow 4420 은 운영 비용을 절감하고 처리율을 높이도록 설계되었습니다. 고정밀 작동으로 LAM RESEARCH Rainbow 4420은 박막 에칭 및 재싱에 이상적인 도구입니다.