판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776

LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher는 집적 회로 (IC) 미세 구조의 빠르고 정밀한 생산을 위해 설계된 고급의 완전 자동 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 MRR (Outstanding Material Removal Rate), Ra (Surface Roughness) 및 임계 전압 (Vth) 제어 정확도로 복잡한 마이크로 기능을 에칭 및 ashing 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다. Rainbow 4420 은 4 축 SCARA 로봇을 장착하여 전체 프로세스 효과를 극대화하고 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족합니다. 이 장치는 또한 로봇 기능을 관리하는 고정밀 모션 컨트롤 머신 (high-precision motion-control machine) 을 갖추고 있으며, 에치와 재 균일성이 뛰어납니다. 또한 이 도구에는 LAM RESEARCH Automated Intelligent Process Control (IPC) 소프트웨어가 장착되어 있어 고성능, 자동화된 프로세스 제어 및 지속적인 모니터링을 통해 제품의 품질을 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 압력, 속도, 온도 및 프로세스 가스 조작 기능과 같은 고급 에치 및 애쉬 제어 기능을 사용하여 프로세스 제어를 개선했습니다. 여기에는 고온 프로세스 가스 온도 (550 ° C 이상) 및 초심도 미크론 레벨 기능 정의에 대한 높은 에치 속도 (> 5,000 Å/min) 를 제어하는 기능이 포함됩니다. 전체 웨이퍼 공정 영역은 최대 12 인치 포켓 직경을 에치 (etch) 하거나 애쉬 (ash) 할 수 있으며 단일 모듈에서 최대 8 개의 에치 포켓을 지원합니다. 고급 기능 외에도 Rainbow 4420 자산은 비용 효율적이며 유지 보수가 쉽습니다. 통합 습식 청소 모델은 화학 사용을 보존하고 폐기물을 줄이고 생산성을 증가시킵니다. 직관적인 LCD 터치스크린 인터페이스는 사용자의 상호 작용을 단순화하고, 화학적 유지 관리 및 오류 메시지에 쉽게 액세스할 수 있게 해 줍니다. 즉, 사용자는 시스템 유지 관리에 대한 정보를 받고 활성화됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher는 화학 및 도구 유지 관리 비용을 최소화하면서 에치 및 애쉬 성능을 최대화하려는 IC 프로세스 엔지니어를위한 이상적인 장비입니다. 고급 프로세스 제어와 고정밀 에치 (etch) 및 재의 균일성을 갖춘 Rainbow 4420은 모든 칩 규모의 생산 환경에 필수적인 시스템입니다.