판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9169587

ID: 9169587
웨이퍼 크기: 8"
Plasma etcher, 8" Currently crated.
LAM RESEARCH Rainbow 4420은 고급 기술로 정확하고 안정적인 에칭 (etcher) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지속적으로 제공할 수있는 고품질 에처/애셔 장비입니다. 광학 시스템은 가장 정밀하게 설계되어 정확한 에칭 작업을 위한 정밀 정렬 및 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 레인보우 4420 애셔 (Rainbow 4420 Asher) 는 최대 8 개의 웨이퍼 캐리어를 위해 설계되었으며, 간격 및 처리량을 최적화하기 위해 장치에 적재 할 수 있습니다. 고성능 자외선 레이저 (Ultraviolet Laser) 는 에칭 프로세스에 대한 향상된 제어를 제공하여 정확하고 일관된 에칭 결과를 보장합니다. 이 기계는 또한 가공 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 더 잘 제어하기위한 이중 진공 챔버를 특징으로합니다. 이 고급 진공 챔버 (vacuum chamber) 기술은 일관된 수준의 에칭 기능과 처리량을 유지하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 특허를받은 LAM RESEARCH SmartValve Technology를 사용하여 정확한 에칭 프로세스 제어를 보장합니다. 이 고급 밸브 도구 (advanced valve tool) 는 에칭 가스를 관리하여 에칭 프로세스 동안 흐름을 제어합니다. 최고 수준의 반복 성과 일관성을 보장합니다. 고급 진단 자산 (Advanced Diagnostic Asset) 은 사용자에게 더욱 안심하고, 모델을 실시간으로 능동적으로 모니터링할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 고급 진단 장치 (Advanced Diagnostic Equipment) 는 잠재적인 문제 또는 유지 보수 요구 사항에 대해 사용자에게 경고하며, 이를 통해 심각한 손상이 발생하기 전에 예방 조치를 취할 수 있습니다. Rainbow 4420은 높은 수준의 자동화를 특징으로하는 효율적인 etcher/asher입니다. 시스템은 에칭 결과가 일관되고 반복 가능하도록 프로그래밍됩니다. 고급 비전 유닛은 에치 저항성 (etch resistance) 및 기타 주요 프로세스 특성을 신속하게 측정 (비접촉) 할 수 있으며, 오류를 즉시 감지하여 필요한 경우 프로세스 수정 (process correction) 을 허용합니다. 또한, 사용자는 전용 사용자 인터페이스를 통해 더 부드럽고 효율적인 작업을 위해 시스템을 제어 할 수 있습니다. 요약하면, LAM RESEARCH Rainbow 4420 Asher는 이중 진공실, Ultraviolet Laser 및 SmartValve Technology와 같은 고급 기술을 통해 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 일관되게 제공 할 수있는 고급 에처/애셔 도구입니다. 자산은 또한 고급 비전 모델 (Vision Model) 과 사용자 인터페이스를 통해 높은 수준의 효율성, 자동화, 사용자 제어 기능을 제공합니다.
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