판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595155

LAM RESEARCH Rainbow 4420은 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 개발 된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 프로세스 기능을 제공하여 표면 마무리 (surface finish) 와 에치 프로파일 (etch profile) 의 정확성을 제공합니다. 온보드 컴퓨터의 도움으로 Rainbow 4420은 정확하고 반복 가능한 균일성으로 시간당 최대 600 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420 (LAM RESEARCH Rainbow 4420) 은 모든 강철 프레임으로 설계되어 방사형 진동에 대한 뛰어난 보호 기능을 제공하며, 모든 식물 매개변수를 정확하게 교정 및 조정할 수있는 다양한 동작을 제공합니다. 이는 고밀도 웨이퍼를 처리 할 때에도 정확성과 반복성을 보장합니다. 이중 빔 레이저 셀 설계를 통해 한 번에 2 개의 웨이퍼를 동시에 에칭하여 처리량을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 또한 4 축 동작 기능과 고속 베어링으로 고급 모션 컨트롤을 통합하여 사용자에게 에치 프로파일의 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 안전한 작동을 보장하고 웨이퍼 오염 가능성을 제거하기 위해 효율적인 배기 (Exhaust) 장치를 갖추고 있습니다. 통합 유지 보수 모니터링 시스템 (Integrated Maintenance Monitoring Machine) 은 적절한 수정 조치를 적시에 수행할 수 있도록 사용자가 문제를 자동으로 감지하고 경고하도록 합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420에는 일관성 있고 반복 가능한 엔드 포인트 정확성을 위해 업계 최고의 엔드 포인트 제어 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산 은 시드 (시드) 나 마스크 (마스크) 웨이퍼 뿐 아니라 알루미늄 (알루미늄), 구리 (구리), 티타늄 (티타늄) 등 여러 금속 에 대한 적합 한 에치 한계 를 신속 히 결정 할 수 있게 해 준다. 또한 RAIS (resonance acoustic imaging model) 가 장비 내에 통합되어 프로세스 균일성을 처리 및 검증 한 후 각 웨이퍼 다이를 현장 검사합니다. Rainbow 4420 의 고급 레이저 마킹 시스템 (Advanced Laser Marking System) 은 Wafer Tracking 을 지원하며 추가 외부 식별 단계가 필요 없으므로 비용 및 실습 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 이더넷 (Ethernet) 을 통해 원격 시스템 제어 위치에 연결되며, 다양한 모니터 및 제어 기능을 사용자에게 제공합니다. 이러한 기능을 통해 프로세스 모니터링 (Extended Process Monitoring), 특정 매개변수 조정 (Parameter Adjustment), 그리고 포괄적인 문제 해결을 위한 원격 진단 및 데이터 수집이 가능합니다.