판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293592003

LAM RESEARCH Rainbow 4420은 건식 및 습식 에칭 어플리케이션을 모두 지원하는 다기능 에치/애쉬 플랫폼입니다. 최적의 프로세스 성능을 제공하도록 설계된 이 장비에는 최대 4 "웨이퍼 (wafer) 를 수용할 수있는 밀링 챔버 (milling chamber) 가 장착되어 있어 생산 프로세스에 이상적인 선택입니다. 또한, 이 시스템에는 정확한 부품 처리를 위해 프로그래밍 가능한 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있으며, 최고의 재생성을 위해 빠르고 정확한 헤드 포지셔닝이 가능한 고급 모션 유닛이 있습니다. Rainbow 4420 플랫폼은 검증된 Quartz 기반 RIE/RIB-POST 하이브리드 제어 플랫폼으로, 에치 및 애쉬 기술 모두에 대해 강력하면서도 사용자 친화적 인 제어를 제공합니다. 이 기계에는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정 모두에 전원 공급 장치가 내장되어 있으며, 최대 8 개의 에치 및 애쉬 사전 프로그래밍 된 프로세스 레시피를 사용할 수 있습니다. 이러한 레시피는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 미세 조정이 가능하며, 레시피의 통합과 사용자 정의가 용이합니다 (영문). LAM RESEARCH Rainbow 4420은 밀링 기능 외에도 고급 웨이퍼 처리 (Advanced Wafer Handling), 피치 보상 (Pitch-Compensation), 레이저 제거 기능 (Laser Ablation Capability) 및 단일 작업 내에서 여러 배치를 실행할 수있는 일시적인 모드와 같은 다양한 혁신적인 기능을 제공합니다. 또한 이 도구의 고급 소프트웨어 (advanced software) 는 레시피 매개변수의 자동 재조정 및 실시간 프로세스 모니터링을 제공하여 일관된 고품질 성능을 제공합니다. Rainbow 4420 플랫폼은 반도체 제작 및 사진 마스크 제작 프로세스에 이상적이며, 통합 건식 (dry-etch) 기술을 통해 처리량, 품질 향상, 장치당 비용 절감이 가능합니다. 이 플랫폼은 에치/애쉬 (etch/ash) 응용프로그램에 업계 최고의 기술을 제공하는 것으로 인정 받고 있으며 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 와 미디어 (media) 산업, 연구 및 개발 분야에서 광범위한 제품을 생산하는 데 적합합니다.