판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9176765

LAM RESEARCH Rainbow 4400B는 반도체 제조업체에 향상된 프로세스 성능, 균일성, 유연성을 제공하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 다양한 구성 가능한 모듈 및 구성 요소와 더불어 고성능 멀티 축 플랫폼 (multi-axis platform) 을 갖추고 있어 물리적 화학적 처리, 장치 구성, 전자 및 광 전자 및 MEMS 어플리케이션에 최적화된 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B는 다양한 가스 제어 옵션을 제공하여 실시간으로 고정밀 프로세스 제어를 지원합니다. 고급 MFC (Smart Mass Flow Controller) 는 전원 공급 장치에 영향을 미치지 않고 실시간으로 최대 8 가스의 압력, 유량 및 기타 매개변수를 조절하고 모니터링 할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 유연성, 재현성 및 전반적인 고성능 결과를 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 고급 진단 및 데이터 분석 도구를 갖춘 터치 스크린 HMI (Human-Machine Interface) 로 제어됩니다. 또한 다양한 맞춤형 프로세스 레시피 (recipe) 를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 머신 (ashing machine) 을 다양한 반도체 구성에 쉽게 조정할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 정교한 소프트웨어 드라이버는 계산 및 교정을 수행하여 에칭 (etching) 을 최적화하면 처리 시간이 단축되고 수율이 높아집니다. Rainbow 4400B는 매우 정밀한 자동 웨이퍼 처리 및 전송 시스템, 온보드 프로세스 모니터, 고급 장애 진단 (fault-diagnostic) 기능을 제공합니다. 자체 교정 도구와 다양한 안전 기능을 통해 최적의 프로세스 제어, 안정성, 안전성을 보장할 수 있습니다. 이 자산은 단일 실행에서 최대 100 개의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 완벽한 디바이스 구성 결과를 보장하는 자동 청소 (auto-clean) 기능 (옵션) 을 제공합니다. RAINBOW 4400 B는 에칭 및 애싱 챔버를 특정 응용프로그램, 프로세스 또는 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 추가 (add-on) 구성 요소를 제공합니다. 또한 정확한 정확성과 반복성으로 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제어하고 모니터링 할 수있는 높은 정확도의 엔드포인트 감지 모델을 갖추고 있습니다. 장비의 고급 설계 (Advanced Design) 와 구성 (Construction) 은 탁월한 에칭 및 다용도 및 성능을 제공하며 정확하고 일관된 결과를 보장합니다.