판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502

LAM RESEARCH Rainbow 4400 etcher/asher는 Silicon, SiGe 및 기타 재료를 포함한 다양한 기판을 처리하도록 설계된 단일 웨이퍼 병렬 플레이트 etcher/asher입니다. 레인보우 4400 (Rainbow 4400) 은 플라즈마 및 가스 소스의 농도와 흐름을 단단히 제어하여 플라즈마 및 반응성 가스를 웨이퍼에 정밀 전달합니다. 이 프로세스 장비를 사용하면 MOSFET, MEMS 및 IC를 포함한 비용 효율적인 고급 구조 에칭이 가능합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400에는 2 개의 개별 플라즈마 소스를위한 2 개의 8 인치 Wells와 반응성 가스를 독립적으로 제어하기위한 4 개의 포트가 장착되어 있습니다. 그것은 최대 5kW의 전력을 특징으로하며, 다양한 플라즈마 화학 물질을 수용하도록 구성 할 수 있습니다. 최대 13.56MHz의 RF 및 DC를 사용할 수 있습니다. Rainbow 4400은 5x10-5 Torr의 진공 레벨로 제공 될 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400은 플라즈마를 정확하게 제어하여 일관된 에칭/애싱 결과를 제공합니다. 즉, 완벽하게 자동화되거나 수동으로 작동하여 고객의 요구에 맞는 유연성을 제공합니다. 또한 Rainbow 4400은 특허를 획득한 저립자, 높은 처리량 Aerosol Quartz® 웨이퍼 처리 구성 요소로 설계되어 반복 가능한 처리를 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4400은 다양한 재료 처리에 대한 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 결과는 일관되고 반복 가능하며, 가격대는 경쟁력이 있습니다. 에칭 매개변수에 대한 고급 제어를 통해 MOSFET, MEMS 및 IC의 처리를 개선 할 수 있습니다. 또한, Aerosol Quartz 웨이퍼 처리 구성 요소는 복잡한 시스템의 오염 위험을 줄입니다.