판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9030525

LAM RESEARCH Rainbow 4400은 반도체 웨이퍼 제조 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 에칭/애셔 도구입니다. Rainbow 4400 은 정확하고 안정적인 에칭 프로세스를 제공하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이 툴은 프로세스 요구 사항 전반을 충족하기 위해 다양한 에칭 속도를 제공합니다. 이 도구는 유전체, 금속, 중합체 및 산화물을 정밀도로 에치하는 데 사용될 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400은 듀얼 쇼어 헤드 설계를 활용하여 프로세스 유연성을 높입니다. 듀얼 쇼어 헤드 디자인은 저압 (low pressure) 및 고압 (high pressure) 기능을 제공하여 에칭 속도를 높이고 에지 제어를 개선합니다. 에처는 또한 멀티 펄스 에치 (multi-pulse etch) 기능을 제공하여 에치 프로세스의 펄스 변조를 허용하고 프로세스 온도를 낮춰 제품 품질을 향상시킵니다. 레인보우 4400 (Rainbow 4400) 에는 에칭 프로세스와 그 결과에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 온보드 입자 카운터가 장착되어 있습니다. 입자 카운터는 피드백 제어 루프 (feedback control loop) 에 통합되어 가장 높은 프로세스 균일성이 달성됩니다. 또한, 이 도구는 시각적 결과를 위한 디스플레이 인터페이스를 제공하며, 액세스 가능성 향상을 위해 원격으로 작동 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400도 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 이 도구는 환경, 프로세스, 소프트웨어 안전 (safety) 기능이 포함된 완전 통합 안전 시스템을 제공합니다. 이 툴은 최신 안전 요구 사항을 충족하거나 초과하도록 설계되었으며 UL 및 CE 표준 인증을 받았습니다. 이를 통해 운영자는 공구의 프로세스를 안전하게 활용할 수 있습니다. Rainbow 4400 은 정확하고 안정적인 프로세스 기능을 제공하도록 설계된 etcher/asher 입니다. 이 도구는 높은 에칭 속도, 향상된 에지 제어, 멀티 펄스 에칭, 통합 입자 카운터 및 실시간 모니터링을 제공합니다. 또한, 완전 통합된 안전 시스템, UL 및 CE 표준 인증, 원격 운영 기능도 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400은 오늘날의 반도체 웨이퍼 제조 산업을위한 다재다능한 에칭 솔루션을 제공합니다.