판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293814660
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293814660
Etchers
(2) Load stations
(2) Robot arms
(5) ADIO
(2) Mini matches
(2) Upper and lower chamber cooling waters
(6) Gas Lines and MFC (Mass Flow Controllers)
CPU
PCB
SIO
Brake
Gap motor
AC-2 Controller
Control board
Endpoint detector
Load point and shuttle
Chamber heating relay
Heartbeat and mother PCB
Gas panel and interlock
Upper and lower electrodes
BAF Gas distribution plate
Lower chamber ceramic ring
Upper chamber gas line
Manometer (10 Torr)
Throttle valve
He Cooling
Power Supply: 24V, 5V/±15V, 5V/±12V.
LAM RESEARCH Rainbow 4400 Etcher/Asher Process 장비는 반도체 장치 제조를위한 획기적인 솔루션입니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 활용하여 비용 효율적인 고수율 디바이스 제작을 지원합니다. 레인보우 4400 (Rainbow 4400) 은 업계에서 가장 높은 에치율을 제공하는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 기반으로합니다. 통합 프로세스 제어 (Integrated Process Control) 기능을 통해 사용자는 에칭에서 애싱 (Ashing) 으로 신속하게 전환하여 보다 효율적인 디바이스 구성 프로세스를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 최대 프로세스 수율을 위해 다양한 옵션이 장착되어 있습니다. 여기에는 고급 레시피, 바이어스 발전기, 애싱 제어 모듈, 엔드 포인트 감지 시스템 및 고급 진단이 포함됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400은 탁월한 성능을 제공하여 최대 100% 의 생산량을 제공합니다. 이 기계는 향상된 장치 에치 (etch) 및 애싱 성능을 위해 플라즈마를 조정하는 독특한 가스 혼합 기능을 제공합니다. 온보드 소프트웨어를 사용하면 빠르고 편리하게 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 신속한 웨이퍼 스위칭 프로세스를 수행하고, 사용자의 생산성을 높이고, 비용을 절감할 수 있습니다. Rainbow 4400은 직관적인 사용자 인터페이스를 자랑하며 설치와 작동이 간편합니다. 자산에는 다양한 센서와 컨트롤러가 장착되어 있으며, 실시간으로 프로세스 모니터링, 피드백, 조정이 가능합니다. 이러한 기능은 전체 작업 동안 etch 또는 ashing 프로세스가 안정적으로 유지되도록 합니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Rainbow 4400 은 유지 보수 요구 사항을 최소화하여 모델 가동 시간을 연장하고 운영 비용을 절감합니다. 장비는 또한 여러 프로덕션 설정과 호환되므로 기존 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비와 완벽하게 호환됩니다. 이를 통해 효율적이고 다용도적이며 경제적인 디바이스 구성 솔루션을 구축할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다