판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #130808

LAM RESEARCH Rainbow 4400은 웨이퍼 및 다이 레벨 프로세싱의 요구를 모두 충족하도록 설계된 에칭/애셔 장비입니다. 이 시스템은 다양한 저비용, 고성능 기능을 제공하여 블랭킷 (blanket) 또는 이방성 에치 (anisotropic etch), 스퍼터링 (sputtering), 저항 스트립 (resist strip) 등의 애플리케이션에 대해 정확하고 효율적인 프로세스 단계를 제공합니다. 이 장치는 최신 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 기술을 활용하여 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 일관성을 보장하는 자동화된 프로세스 챔버를 갖추고 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 온도 및 공정 제어를 제공하여 반복 가능하고 일관된 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 또한 Rainbow 4400 은 기존 시스템의 처리량이 최대 2 배인 높은 처리량 etch/ash 기능을 제공합니다. 이 기능은 처리 시간을 대폭 단축하여 고품질 제품을 신속하게 생산할 수 있습니다. 인상적인 기능 외에도 LAM RESEARCH Rainbow 4400은 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) S-120 및 S-133 표준을 포함한 여러 산업 표준 및 프로세스를 준수합니다. 이 도구의 유연성을 통해 자산의 데이터베이스에서 다른 프로세스 (process) 를 선택할 수 있으므로 효율성을 높일 수 있습니다. Rainbow 4400 은 다양한 애플리케이션의 효율성을 최적화하기 위해 설계되었습니다. 이 모델에는 완전 구성 가능한 고전압 (High-Voltage) 전원 공급 장치, 다차원 프로세스 제어, 자동 압력 및 온도 조절이 장착되어 있습니다. 이는 결과의 최고 품질과 반복 가능성을 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400 의 고급 소프트웨어에는 온라인 진단 및 오류 분석, 열/전원 관리 기능 등이 포함되어 있습니다. 이 장비는 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 직관적인 수동 제어를 통해 사용이 간편합니다. 이 소프트웨어에는 표준 LC/TE (Layer Count/Thickness Error) 커브 라이브러리도 포함되어 있어 고객이 신속하게 레시피를 설정하고 조정할 수 있도록 도와줍니다. Rainbow 4400 etch/ash 시스템은 웨이퍼 및 다이 레벨 (die-level) 처리 요구 사항을 충족하는 유연하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4400 은 고성능 멀티 존 (Multi-Zone) 기술, 저비용이지만 처리량이 많은 기능, 광범위한 프로세스 제어 및 고급 진단 소프트웨어를 통해 예산에 따라 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있는 사용자를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.