판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series는 가장 복잡한 웨이퍼 처리 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 일관된 성능을 제공하면서 모든 애플리케이션에 적응하도록 설계된 모듈식 (modular) 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 장치의 독보적인 아키텍처를 통해 최대 3 개의 추가 모듈을 손쉽게 추가하여 확장성 (Expandability) 과 다용도 (Versonility) 를 높일 수 있습니다. Rainbow 4000 시리즈에는 온도와 압력에 대한 정확한 제어를 통해 열 결합 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 CFTA (Crystal Front Target Assembly) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 안정적인 중대량 (medium-high-volume) 생산 실행을 위해 설계되었으며, 고급 모션 컨트롤은 전체 웨이퍼 표면에서 균일성과 반복성을 보장합니다. 2 개의 1.75kW RF 발전기가 장착 된 LAM RESEARCH Rainbow 4000 시리즈는 에칭을 위해 분당 최대 6 개의 웨이퍼 사이클을 수행 할 수 있으므로 처리량이 증가합니다. 또한, 이 도구는 프로세스 매개변수 및 웨이퍼 특성에 적응하는 온보드 컨텍스트 (on-board context-sensitive) 소프트웨어를 사용하여 모듈의 적절한 통합 및 작업 단순화를 보장합니다. Rainbow 4000 시리즈는 온도, 압력, RF 전력, asher 시간 및 etching 시간과 같은 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 자동화된 매개변수 제어 (automated parameter control) 는이 자산이 전체 기판 표면에 균일 한 웨이퍼 균일성을 제공하는 데 이상적입니다. 더 쉽게 웨이퍼 처리 및 운송을 위해 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series는 통합 웨이퍼 전송 모델로 설계되었습니다. 이 장비는 포커스 챔버 (focus chamber), 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 및 리시버 챔버 (receiver chamber) 를 결합하여 유연한 웨이퍼 처리 시스템을 형성합니다. 이 메커니즘은 다양한 웨이퍼 크기와 모양, 그리고 단면 및 양면 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최적화된 Robotic End Effector로, 이 장치는 안정적인 처리 및 정확한 웨이퍼 위치를 보장합니다. 클린 룸 운영을 위해 Rainbow 4000 Series는 진동 댐핑 (vibration dampening) 속성이있는 컴팩트하고 무거운 듀티 프레임을 기반으로합니다. 이 플랫폼은 상세 인식, 직관적인 터치스크린 인터페이스, 신뢰할 수 있는 네트워킹, 시스템 유지 관리 기능 등의 기능을 통해 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 작동 중 안전을 보장하기 위해 과열, 과압, 전자기 간섭 보호 (over-temperature, over-pressure, and electromagnetic interference protection) 를 포함한 일련의 안전 기능을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4000 시리즈는 에칭 및 애싱 어플리케이션에 이상적인 툴로서, 높은 수준의 정밀도, 반복성, 신뢰성을 제공합니다. 멀티태스킹 기능과 모듈식 (modular) 설계를 통해, 이 자산은 시장에서 가장 발전된 etcher/asher 시스템 중 하나입니다.