판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169566

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series는 최신 반도체 장치의 정확한 요구를 충족하도록 설계된 에처/애셔입니다. 4000 시리즈는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 전용 전기 화학 증착/에칭 장비입니다. 완벽한 자동화, 모듈식 설계를 통해 운영 효율성과 유연성을 극대화할 수 있습니다 (영문). 이 시스템은 건식 에칭, 리에 이온 에칭 (RIE), 플라즈마 에칭 (PIE) 및 대기압 화학 에칭 (APCE) 을 포함한 여러 에칭 기술을 사용합니다. 이 장치는 반도체 기판에 정밀 증착 및 에칭을 전달하도록 특별히 설계되었습니다. Rainbow 4000 시리즈는 최첨단 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 사용하여 고품질의 etch 결과를 지속적으로 제공합니다. 실리콘, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI), 폴리실리콘 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 구성 능력이 뛰어나 다양한 에치 (etch) 레시피가 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 프로세스는 주로 RF 전력을 사용하지만, 전자 레인지 및 직류 (DC) 전원과도 호환됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series는 에칭 및 증착 프로세스가 모두 필요한 복잡한 에치 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 예를 들어, 장치 서피스에서 금속 접점 (예: 상호 연결에 사용되는 접점) 을 형성하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 트리밍, 미세 패턴 링, 공동 형성 프로세스 등 다른 일반 에치 응용 프로그램에도 이상적입니다. Rainbow 4000 시리즈에는 인원과 장비를 모두 보호하도록 설계된 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 공정 오류 (process error) 와 가동 (runaway) 조건이 즉시 인식되고 해결되도록 광범위한 연동 및 보호 절차를 사용합니다. 이 시스템은 프로세스 레시피를위한 포괄적 인 데이터베이스와 원격 (remote) 모니터링 및 제어를 위한 원격 터미널 (remote terminal) 도 갖추고 있습니다. 4000 시리즈는 다양한 단순성과 편의성 측정으로 설계되었습니다. 고속 로봇 공학 및 프로그래밍 기능을 통해 신속한 설치 시간, 유지 관리 비용 절감, 처리량 향상 등의 이점을 누릴 수 있습니다. 이 도구는 또한 독특한 저전압 전원 공급 장치 (Low-Voltage Power Supply) 를 갖추고 있으며, 일반적으로 에칭 및 증착 프로세스와 관련된 인공물을 줄입니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series는 현대 반도체 장치의 많은 요구를 충족시키는 고급 etcher/asher입니다. 정밀한 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 결과를 제공하며, 광범위한 기판을 처리할 수 있으며, 포괄적인 모니터링 및 보호 기능을 통해 안전을 보장합니다. 직관적 인 디자인과 사용자 친화적 인 운영으로 반도체 업계에 이상적인 에칭 (etching) 솔루션으로 자리잡았습니다.