판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9412757

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 가장 까다로운 어플리케이션을 염두에 두고 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 특허를받은 3 챔버, 폐쇄 루프 프로세스를 기반으로하는 펄스 플라즈마 소스입니다. 프로세스 제어 소프트웨어와 결합된 혁신적인 온보드 자동화 시스템 (On-Board Automation System) 은 신뢰성이 높은 프로세스 툴을 제공합니다. 이 에칭/애싱 장치에는 최대 500 밀리와트의 10 밀리와트에서 넓은 작동 창이 있습니다. 염소, 불소 및 이산화탄소를 포함한 다양한 가스를 지원합니다. 가변 펄스 비대칭성과 결합 된 조절 가능한 에치 레이트 (etch rate) 는 광범위한 에치/애쉬 프로세스에 이상적입니다. 이 기계는 또한 특허를받은 컨버전스 존 챔버 (convergence zone chamber) 를 사용하여 모서리 손상, 마스크 침식, 아크 표류 등의 기존 에칭 시스템과 관련된 문제를 제거합니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 개방형 아키텍처를 통해 재료, 프로세스 및 기능을 최적화할 수 있습니다. 이 도구는 또한 여러 레시피를 지원하며 뛰어난 반복성을 제공합니다. LCD 터치 스크린과 그래픽 작업 편집기를 갖춘 직관적인 산업용 사용자 인터페이스가 있습니다. 지능형 실시간 프로세스 조정 툴을 사용하면 몇 분 안에 레시피를 최적화할 수 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 레벨 진단 자산 (automated wafer level diagnostic asset) 이 포함되어 있어 문제가 되기 전에 모든 모델 문제를 감지합니다. TCP 9400 SE는 태양 전지판, "레이저 '와 같은 여러 가지 고급 안전 기능으로 챔버의 누수를 감지합니다. 또한 EFEM 호환성을 제공하여 자동 시스템에 통합 할 수 있습니다. 장비는 설치 공간이 작아 설치 및 유지 보수가 용이합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 etch/ash 프로세스와 관련된 다양한 고급 기술을 개발하기위한 강력한 솔루션입니다. 고밀도 패턴화, 컨택트 오프닝, 장치 격리, 마스크 수리 등의 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 최고 수준의 에칭/애싱 (etching/ashing) 기능이 필요한 고객에게 이상적이며, 뛰어난 반복성과 프로세스 제어를 제공합니다.