판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 다양한 산업의 다양한 재료에 대한 중요한 에칭 및 애싱 작업을 수행 할 수있는 etcher/asher입니다. 비용 효율성, 확장성을 고려한 독보적인 설계를 통해 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다 (영문). 이 기계는 고속 웨이퍼 (Wafer) 운송 장비를 갖추고 있으며 공정 반복성을 유지하면서 고압, 저압, 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 작업 사이에서 빠르게 순환하는 기능을 갖추고 있습니다. 소모품이 줄어들고 처리량이 많은 ONTRAK TCP 9400 SE 는 최고의 성능과 프로세스 제어를 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE의 핵심은 세라믹 밀폐 형 플라즈마 챔버 디자인입니다. 이 기능은 최적의 열 전달 (heat transfer) 및 안전하고 효율적인 프로세스 가스 사용을 위해 설계되었습니다. 세라믹 챔버 (ceramic chamber) 는 빠르고 반복 가능한 에칭 동작을 보장하기 위해 높은 온도 균일성을 유지합니다. 이 기계는 에칭 성능을 더욱 최적화하기 위해 프로세스 압력 모니터링 (process pressure monitoring) 을 통합하여 미세 튜닝 및 일관성을 보장합니다. 반복 가능성과 정확성을 보장하기 위해 TCP 9400 SE는 특허를 획득한 FCS (Feedback Control System) 를 통합했습니다. FCS 는 웨이퍼 (wafer) 의 필라멘트 전압 프로파일 (filament voltage profile) 을 모니터링하여 작동하며 사전 설정된 조건에 따라 프로세스 압력 및 시간을 자동으로 조정합니다. 이렇게 하면 etching 프로세스 중에 wafer 속성이 변경되면 장치가 프로세스 제어를 다시 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE에는 디지털 프로세스 레코딩 머신도 있습니다. 이 도구는 각 etch 주기 동안 모든 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 저장하여 처리된 각 웨이퍼에 대해 정확한 프로세스 매개변수를 재생성할 수 있습니다. 또한, 데이터 기반에 저장된 프로세스 변수는 필요한 경우 통계적 프로세스 제어 및 프로세스 개선 (process improvement) 을 허용합니다. 프로세스 레시피 (process recipe) 소프트웨어를 사용하면 다른 웨이퍼 유형에 대해 여러 레시피를 저장하고 자동으로 수행할 수 있습니다. 배치 평균 데이터와 프로세스 관련 정보를 저장할 수도 있습니다. 이를 통해 품질 관리 및 품질 보증을 위해 에칭 로그를 손쉽게 저장, 검토, 익스포트할 수 있습니다. 마지막으로 ONTRAK TCP 9400 SE는 사용 편의성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 작동 컨트롤을 쉽게 사용할 수 있는 대용량 전면 (front-panel) 디스플레이를 통해 빠르고 간단한 작업을 수행할 수 있습니다. 유지 관리를 위해, 모든 중요한 구성 요소를 시스템 외부에서 쉽게 액세스할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE (LAM RESEARCH TCP 9400 SE) 는 다양하고, 신뢰할 수 있으며, 신뢰할 수 있는 기계로, 에칭 및 애싱 프로세스의 생산성과 효율성을 높이려는 사람들에게 적합합니다.