판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9181362

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 정확하고 반복 가능한 에치 및 애쉬 프로세스를 위해 단일 엔드 3 축 기계 동작 장비를 제공합니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 기존의 원형 에치 시스템보다 더 큰 OAF (Open Area Factor) 에치를 달성 할 수 있으므로 필요한 재코팅 수를 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 최대 2 미크론 에치를 구성 할 수 있으며 150mm에서 300mm까지 다양한 웨이퍼 크기를 정확하게 가져올 수 있습니다. TCP 9400 SE는 ONTRAK 독점 MatchMotion 기술을 사용합니다. 워치 모션 (MatchMotion) 기술은 에칭 중에 세 축을 모두 조정하고, 잘못된 정렬을 제거하고, 자주 재교정해야 할 필요성을 줄이는 소프트웨어 시스템입니다. 이 장치는 또한 PatchMotion 기술을 사용하여 특정 응용 프로그램에 대해 프로그래밍되고 최적화된 에치를 만듭니다. 또한 MaskAdapt 알고리즘과 호환되어 반도체 장치 제작의 처리량을 최대화합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE를 사용하면 반도체 제조에서 중요한 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 머신은 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 도구를 사용하여 여러 배치에서 반복 가능한 결과와 함께 etch가 정확한지 확인합니다. 에셋에는 에칭 중 불완전성을 감지할 수있는 실시간 광학 검사 (optical inspection) 기능도 포함되어 있으며, 이를 통해 즉시 수정이 가능합니다. 또한, ONTRAK TCP 9400 SE는 다양한 에치 및 애쉬 공정에 대한 다양한 압력, 온도 및 공정 화학 물질로 구성 할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 정확성과 정확성 외에도 효율성과 편리성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이 모델의 자동 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 기능을 통해 수동 개입 없이 여러 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 작업 영역을 유해한 연기가 없을 수 있도록 통합 배기 장치 (Exhaust Equipment) 가 특징입니다. 또한, 시스템은 여러 개의 다이 (die) 구성을 갖추고 있으며, 유지 보수 및 장치 최적화를 용이하게 하기 위한 완벽한 진단 툴을 제공합니다. 결론적으로 TCP 9400 SE는 반도체 제조를 위해 설계된 신뢰할 수 있고 다재다능한 etcher/asher입니다. 정밀하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스를 가능하게하는 단일 엔드 3 축 모션 머신을 제공합니다. 또한 MatchMotion 및 PatchMotion 기술, MaskAdapt 알고리즘, 광학 검사, 자동 카세트-카세트 기능 및 완전한 진단 도구와 같은 기능이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 장치 제조에 이상적인 솔루션입니다.