판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134003
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판매
ID: 9134003
웨이퍼 크기: 4"-12"
Etcher, 4"-12"
Oxide
Flat wafers
ESC chuck
(1) Chamber
GAS NO GAS NAME MAKER MODEL FULL SCALE
1 02 TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
2 02 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
3 N2 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
4 SF6 TYLAN FC-2950MEP5 50SCCM
5 HBR TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
6 CF4 AERA FC-D980C 500SCCM
7 CL2 AERA FC-D980C 200SCCM
8 70%HE+30%O2 AERA FC-D980C 20SCCM
9 HE UNITY 8100Seris 50SCCM
BOARD BOX:
CPU
ADIO#5
ADIO#7
ADIO#8
ADIO#9
ADIO#11
ADIO#13
SERIAL
PRESSURE:
LOCATION MAKE MODEL
CHAMBER CM MKS
TURNEL MKS 625A11TDE
FORLINE MKS 625A11TDE
BACK HE TYLAN CMLA-21
RF GENERATOR MACHER
TOP AE RFDS 1250 R-KIT
BOTTOM AE RFG 1250 MINI
PUMP:
SEIKO SEIKI H2002C
SEIKO SEIKI STP-H200C
PRESSURE CONTROL:
VAT 65048-PH52-ABU2
VAT PM-7
FUNCTION CHECK:
INDEX MOVING
SHUTTLE MOVING
ARM MOVING
PRESSER CONTROL
GAS FLOW TEST
GAP MOVING
RF ON/OFF
ESC ON/OFF
AUTO RUNING TEST.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반자동 에처 및 애셔입니다. 광범위한 에칭, 애싱, 증착 프로세스를 위해 설계된 단일 웨이퍼 장비입니다. 여기에는 각각 독립적 인 흐름 및 온도 조절이있는 2 개의 가스 챔버가 있습니다. 또한 와퍼 포지셔닝 (wafer positioning) 을 위한 자동 기판 중심 시스템 (automatic substrate centerering system) 과 단일 런에서 습식 및 건조 프로세스를 모두 수행할 수있는 기능이 있습니다. 이 장치에는 고성능 PC 기반 제어 시스템과 사용하기 쉬운 Windows ™ 스타일의 소프트웨어 인터페이스가 장착되어 있습니다. 프로그래밍 가능한 프로세스 레시피는 프로세스 설정 기능, 사용자 정의 프로세스를 최대 20 개까지 위한 데이터 스토리지 (Data Storage), 많은 매개변수를 선택하여 유연한 프로세스 제어 (process control) 를 제공합니다. 이 툴에는 프로세스 데이터를 빠르게 보고 문제를 파악할 수 있는 모니터 스트립 차트 (monitor strip chart) 도 포함되어 있습니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 실리콘 웨이퍼, photolithography 마스크, 쿼츠 및 세라믹을 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 챔버는 최대 400mm, 200mm 및 150mm 원형 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 알루미늄, 폴리 실리콘, 티타늄, 실리콘 및 기타 재료에 대한 다양한 에칭 및 애싱 반응을 제공합니다. 이 모델에는 보호 수준을 극대화하는 통합 안전 연동 장비가 포함되어 있습니다. 또한 작동 모니터가 기판 손상을 모니터링하도록 돕는 EDS (Endpoint Detection Subsystem) 와 에칭 프로세스 중 열 손상을 방지하는 데 도움이되는 FCS (Fast Cooling Subsystem) 도 포함됩니다. 이 시스템은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 탁월한 성능을 제공합니다. 고성능 컨트롤러와 소프트웨어를 사용하면 자동화된 처리를 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 운영자와 기판 모두에 뛰어난 안전 (safety) 기능과 보호 기능을 제공합니다. 이 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 프로세스 엔지니어를 위한 탁월한 선택입니다.
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