판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9099538

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 재료 처리에 대한 고성능 에처/애셔입니다. 이 툴은 최고 수준의 정밀도 (Precision) 및 반복 (Repeatability) 기능을 제공하도록 설계되어, 사용자가 디바이스 구성 프로세스에 대해 가장 높은 수율과 수율을 얻을 수 있게 해 줍니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 원하는 장치 특성을 달성하기 위해 정확한 재료 제거 특성을 보장하는 고급, 프로그래밍 가능한 레이저 기반 장비를 갖추고 있습니다. 에칭 용 고출력 아르곤 레이저 (Argon Laser) 와 애싱 용 저출력 레이저 (Low-Power Laser) 를 장착하여 재료 에칭과 표면 애싱 모두에 적합합니다. 레이저 시스템에는 정밀 제압을위한 정교한 폐쇄 루프 제어 장치 (closed-loop control unit) 와 제반 패턴을 최적화하는 스캐닝 머신 (scanning machine) 이 추가로 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 증착 과정에서 더 높은 수준의 정밀도를 위해 멀티 챔버 챔버 스퍼터 소스 (multi-chamber chamber sputter source) 를 제공합니다. 이 스퍼터 소스에는 알루미늄 (Aluminum), 구리 (Copper), 티타늄 (Titanium) 과 같은 다양한 고급 재료가 장착되어 사용자의 응용 프로그램을 기반으로 최고의 기능과 성능을 제공합니다. 또한 에치 (etch) 공정과 애싱 (ashing) 공정 사이에서 챔버를 지속적으로 청소하기위한 완전 자동 정화 공구가 포함되어 있습니다. 자동 빠른 종료는 다단계 프로세스에서 지원됩니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE etcher/asher에는 통합 웨이퍼 관리 자산이 포함되어 있으므로 사용자가 완전히 자동화 또는 수동 모드에서 기계를 사용할 수 있습니다. 이 모델은 또한 전체 프로세스 제어를 위한 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 및 제품 추적 기능을 제공합니다. 이 기계에는 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (substrate) 을 수동으로 적재 및 언로드할 수 있는 고급 재료 처리 장비도 장착되어 있습니다. 시스템 안전 (System Safety) 및 신뢰성 측면에서 TCP 9400 SE는 고급 연동 장치 (Advanced Interlock Unit) 와 함께 제공되며 비상 사태가 발생할 경우 전체 프로세스를 종료합니다. 또한, 간편하고 편리한 사용을 위해 전용 레시피 관리 기능이있는 터치 스크린 사용자 인터페이스 (touch-screen user interface) 도 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 고급 반도체 에처/애셔입니다. 매우 정확하고 반복 가능한 제어 시스템 (control system) 을 통해 사용자는 최고의 수준의 디바이스 생산과 프로세스 반복 기능을 보장할 수 있습니다. 안전성과 사용자 인터페이스 (User Interface) 기능을 통해 최신 반도체 제작을 위해 안정적이고 사용자에게 친숙한 툴이 될 수 있습니다.