판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293595661

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 293595661
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 재료를 에칭 및 세척하는 데 탁월한 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된 고급형 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 듀얼 암, 수직 축 플랫폼을 사용하며 최대 5kW 출력과 가변 전원 옵션을 제공하는 고출력 레이저가 장착되어 있습니다. ONTRAK TCP 9400 SE (ONTRAK TCP 9400 SE) 는 결함이 없는 환경을 모니터링하고 최신 네트워크/제어 기술로 제어하여 업계 최고의 정확성과 반복 능력을 제공합니다. 이 장비에는 20 석 규모의 제어실 (control room) 이 설치되어 다중 레시피 데이터베이스 (multiple-recipe database) 와 완벽한 소프트웨어/하드웨어 어플리케이션 등 다양한 옵션과 유연성이 제공됩니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 모듈식, 확장 가능한 아키텍처로 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 시스템 요구 사항을 충족할 수 있습니다. TCP 9400 SE는 고주파 웨이퍼 처리 (high-frequency wafer handling), 자동 매핑 (automated mapping), 고속 제어 (high speed control) 등 다양한 옵션 기능을 추가하여 대부분의 반도체 재료를 사용할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 갖추고 있으며, 습식 (wet) 및 건식 (dry) 공정을 위한 통합 시스템으로 최대 4 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE에는 고급 프로세스 지침, 프로그래밍 레시피, 안전 기계 모니터링 및 SPC (Statistical Process Control) 기능을 제공하는 통합 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지에는 다양한 디지털/아날로그 인터페이스 장치가 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 0.001 (m) 의 크기와 0.5 (m) 의 반복 가능성으로 매우 미세한 에치 및 애싱 결과를 생성 할 수 있습니다. 자산은 제품 (Product) 과 주변 인력을 모두 오염 물질로부터 보호하기 위해 업계에서 가장 높은 격리 기준 (Containment Standard) 으로 설계되었습니다. 뛰어난 성능과 뛰어난 정확도로 ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 제조업체를 위한 업계 최고의 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다.
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