판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293587268

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 293587268
웨이퍼 크기: 6"
ICP Etcher, 6".
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 오늘날의 반도체 생산 시설의 요구를 충족하도록 설계된 완전 자동화 된 etcher/asher입니다. 포토 마스크 및 기타 재료의 정밀도 에칭 및 애싱 (ashing) 을 효율적인 단계별 방식으로 제공합니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 마스크 크기와 모양이 유연합니다. 이 제품은 1 개, 2 개 또는 3 개의 레이어를 에치하는 기능을 포함하여 8 가지 마스크 구성을 제공하며, 정렬을 위해 온보드 패턴 인식이 가능합니다. 또한 정밀 온도 제어 및 신뢰성이 높은 통합 프로세스 자동화 시스템을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 고급 에치 및 애싱 기술을 사용하며, 모든 표면에서 오염 물질을 제거하는 주요 목표입니다. "에칭 '과정 에는 액체 에 잠긴 진동 전극 이 사용 되며, 발작 과정 에는" 플라즈마 토치' 가 있는 가열 된 용광로 챔버 '가 사용 된다. 에칭 전극은 위치를 조정하여 최적의 에칭 (etching) 을 달성 할 수 있으며, 토치는 최대 2000 ° C의 온도에 도달하여 재료를 빠르게 에칭 할 수 있습니다. TCP 9400 SE는 다른 컨트롤러와 측정 기기의 조합을 사용하여 미리 설정된 제한 내에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 유지할 수 있습니다. 온도 센서, 위치 센서, 압력 트랜스듀서, 유량 미터 (flow meter) 는 에칭 및 애싱 프로세스의 모든 요소를 모니터링하여 정밀도와 일관성을 보장하는 데 사용됩니다. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 GUI (Graphical User Interface), 사용자 정의 절차 자동화, 데이터 로깅 등 포괄적인 소프트웨어 및 하드웨어 기능을 갖추고 있습니다. GUI 를 사용하면 프로세스 단계를 쉽게 정의할 수 있고, 사용자 정의 절차 자동화 (Procedural Automation) 를 통해 자동화된 프로세스 단계를 수정할 수 있습니다. 데이터 로그 (data log) 는 결과를 저장하며 트렌드를 표시하고 프로세스 정보를 저장하는 데 사용할 수 있습니다. ONTRAK TCP 9400 SE는 대용량 프로세싱에 적합하며, 안전성과 품질 보증 시스템이 내장된 내구성 있는 프레임 구성을 갖추고 있습니다. CE 인증을 받았으며, 가장 엄격한 국제 표준을 준수하여 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다.
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