판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358697
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 다양한 재료에서 고품질, 고밀도 및 고가상도 패턴 생산을 위해 설계된 etcher/asher입니다. 이 견고한 플랫폼은 높은 처리량 및 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. ONTRAK Kiyo 45는 높은 처리량, 낮은 운영 비용, 뛰어난 패턴 크기 등 다른 유형의 에칭 및 애싱 시스템에 비해 몇 가지 이점을 제공합니다. LAM RESEARCH Kiyo 45의 핵심은 고급 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 로, 다양한 전도성 및 비전도 물질에서 높은 종횡비 기능을 생성 할 수 있습니다. 기계 는 두께 가 최대 6 "미크론 '인 재료 를 절단 할 수 있다. 이 공정은 다양한 재료에 균일하고 정밀도 높은 패턴을 제공 할 수 있습니다. 이것은 레이저 (laser) 와 저전력 (low-power) 마이크로파 발전기 (microwave generator) 의 조합을 통해 가능해집니다. 이 기계는 또한 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고, 최적의 프로세스 효율성 (process efficiency) 과 반복성을 제공하는 통합 프로세스 제어 시스템 (integrated process control system) 을 제공합니다. 이러한 프로세스 제어는 에치 레이트 (etch rate) 를 조정하는 기능과 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모니터링 및 추적하는 기능도 제공합니다. 이 시스템은 또한 운영자의 안전성과 에치 (etching) 또는 애쉬 (ashed) 에 대한 보호 (protection) 를 보장하기 위해 여러 가지 내장 안전 기능이 있습니다. 키요 45 (Kiyo 45) 가 제공하는 매우 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스는 대용량, 고정밀도 및 고가상도 미세 구성 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 기계는 금속, 유리, 폴리머 및 기타 비전도 물질에 이르기까지 광범위한 재료에서 복잡한, 높은 종횡비 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 의료, 항공 우주 및 전자 부품, 기타 전자 및 광전자 부품 생산에 광범위하게 사용됩니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 또한 유지 보수가 쉽고 100% 가동 시간을 제공 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 운영 비용이 낮고 배기가스 (EMC) 가 적기 때문에 환경에 미치는 영향도 매우 낮습니다. 따라서 모든 유형의 응용 프로그램에서 정밀 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다.
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