판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358696

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 다양한 응용 분야에 대한 고성능 etcher 및 asher입니다. 이 장비는 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 운영자는 처리량을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 중요한 에치 및 애쉬 조작을 위해 고해상도 및 균일 한 처리를 제공합니다. 이 시스템은 고급 펄스 DC 플라즈마 기술을 사용하여 에치 및 애쉬 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 고급 자동화 및 안전 옵션 (예: 자동 기판 웨이퍼 처리, 실시간 모니터링 및 프로세스 매개변수 제어) 을 제공합니다. 고급 제어 기능으로이 장치는 인라인 플라즈마 서피스 (in-line plasma surface) 수정에도 사용될 수 있습니다. 기계는 에칭, 애쉬, 에칭/애쉬/클린, 에칭/애쉬/클린/에치 및 클리닝을 포함한 다양한 프로세스를 제공합니다. 긍정적이거나 부정적인 포토 esist 응용 프로그램을 모두 처리 할 수 있습니다. 특허를받은 E-mechanism은 대부분의 etch 응용 프로그램에 대해 높은 etch 속도, 높은 균일성 및 낮은 round-end 프로파일을 제공합니다. ONTRAK Kiyo 45는 플래튼 쉴드 처리, 최적화 된 증착/에치 성능 및 e- 필드 균일성을 위해 통합 가스 박스로 구성됩니다. 작은 발자국이 있으며, 가공 중 척 (chuck) 을 잘 분리 할 수 있도록 듀얼 척 (dual chuck) 커버가 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 고급 제어 기계를 사용하여 온도, 압력 및 압력 곡률 반응과 같은 다른 중요한 매개변수에 대한 프로세스 모니터링 및 모니터링을 제공합니다. 안전성 향상을 위해 RF on/off 스위치, 기계식 액세스용 연동 스위치, 격리식 챔버, 확장 가능한 비상 정지 도구 등 다양한 내장 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 자산에는 통합 원격 모니터링 및 제어 모델, 리플로우 기능 및 산소/질소 생성기와 같은 추가 기능도 포함됩니다. 키요 45 (Kiyo 45) 는 다른 ONTRAK 제품과 호환되도록 설계되어 운영자에게 훌륭한 플랫폼을 제공합니다. 다양성과 강력한 기능을 갖춘 LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 광범위한 에칭/애쉬 조작에 적합한 선택입니다.