판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358691

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 얇은 필름 및 코팅의 플라즈마 에칭 및 재싱에 사용되는 에처 또는 애셔입니다. 이 에처는 기판 표면에 이온 폭격 없이 독립적이고 동시 고품질 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 생성 할 수있는 강력한 RF 출력으로 정확하고, 반복 가능하며, 높은 처리량 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 제공합니다. ONTRAK Kiyo 45 에처는 모듈식 설계를 통해 시스템에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 에처는 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스를 갖는 이중 압력, 주변 온도 에처입니다. 에칭을위한 하나의 소스와 재싱을위한 하나의 소스. 이를 통해 두 프로세스 모두에 격리된 (isolated) 및 개별 (individual) 환경을 제공하여 샘플을 정확하게 에칭 및 재싱할 수 있습니다. 에처에는 각 프로세스에 대한 독립적 인 RF 생성기가 장착되어 최적의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 성능을 보장합니다. 에처에는 에칭 및 애싱 프로세스를위한 자동 인라인 가스 제어 시스템도 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45 에처 (Etcher) 에는 광범위한 에치 화학 물질 및 에치 조건으로 더 큰 기질의 에치 속도 균일성을 최적화하기 위해 특별히 설계된 업 플로우, 멀티 존 처리 챔버가 장착되어 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 또한 다양한 물질에 대한 광범위한 에치 공정을 가능하게하는 광범위한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 과 호환됩니다. 키요 45 에처 (Kiyo 45 etcher) 는 안전하고 안전한 환경에서 모든 프로세스가 수행되도록 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 에처에는 대기 여과를위한 플레 넘 (plenum), 건강한 작업 조건을 보장하기위한 HEPA 필터, 장기 내구성을 보장하는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 건설이 내장되어 있습니다. 에처 (etcher) 에는 기판 에치 및 애싱 (ashing) 처리를 정확하게 모니터링 할 수있는 고급 모니터 및 제어 시스템이 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 etcher는 강력하고 다양한 에칭 (etcher) 또는 애셔로 광범위한 에칭 및 애싱 요구를 충족시켜 장기적인 신뢰성과 고성능을 제공합니다. 이 에처 (etcher) 는 박막 및 코팅을 에칭하기 위한 완벽한 선택이며, 정확하고, 반복 가능하며, 높은 처리량을 제공합니다.