판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358668

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 Kiyo 시리즈의 독립형 및 자동 습식 에치 시스템의 일부인 etcher/asher입니다. 이 정밀 마이크로패브라이션 (microfabrication) 장비는 0.75m 이하의 기능을 만드는 데 사용되며, 고급 연구, 개발, 실험실 응용의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 넓은 에치 범위와 안정적인 성능을 갖춘 높은 정확도 에칭을 제공하며, 실리콘, 사파이어, 쿼츠, 폴리머 및 기타 재료를 처리 할 수 있습니다. ONTRAK Kiyo 45 장치는 제로 플럭스 분리 챔버 (zero-flux isolation chamber) 를 사용하여 심실 내에 고도로 통제 된 화학 환경을 만듭니다. 이 약실 은 정적 인 환경 을 유지 하고 "에칭 '하는 동안 오염 을 최소화 하도록 설계 되었다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 또한 일관된 온도를 제공하고 화학 폐기물을 줄이기 위해 재 순환 루프를 갖추고 있습니다. 또한, Kiyo 45에는 디지털 온도 조절, 독립적 인 온도 및 화학 농도 모니터링, 자동 웨이퍼 및 보트 카세트 로딩 머신 (boat cassette loading machine) 이 포함 된 재순환 공정 탱크가 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 최대 4 "웨이퍼를 처리 할 수 있으며 에치 속도는 최대 4" m/min입니다. 이 도구에는 에칭 (etching) 프로세스를 쉽게 사용자 정의할 수있는 프로그래밍 가능한 레시피 에셋이 장착되어 있으며, 반복 가능한 에칭 작업을 지원하는 자동 타이밍 타이머 (timing timer) 및 펌프 제어 모델 (pump control model) 이 있습니다. 또한 컨트롤러에는 디스플레이 (display) 와 에치 프로세스 개발 (etch process development) 및 최적화 (optimization) 를 위한 다양한 제어 옵션이 있는 연산자 인터페이스가 있습니다. ONTRAK Kiyo 45는 설치와 작동이 용이하며 정확하고 반복 가능한 에칭 결과를 제공합니다. 이 제품은 안정적이고 효율적으로 작동할 수 있도록 설계되었으며, 화학적, 전력을 적게 소비합니다. LAM 리서치 키요 (LAM RESEARCH) 키요 45 (Kiyo 45) 는 마이크로패브라이션 연구를위한 이상적인 플랫폼을 제공하며, 기존 리서치 시설에 쉽게 통합되어 더 빠른 프로세스 개발과 향상된 성능을 제공합니다.