판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351456
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 반응성 이온 에칭을 사용하여 소규모로 다양한 재료의 정밀 에칭을 수행하는 에칭/애셔 장비입니다. 작은 크기와 가벼운 무게로 인해 휴대성과 유연성이 가장 중요한 벤치탑 (benchtop) 어플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 최대 8 "x10" 크기의 소재를 에치 할 수있는 저압 RF/DC 하이브리드 에치 챔버를 사용합니다. ONTRAK Kiyo 45에는 25,000 와트 RF 발전기가 있으며, 두께의 금속, 비금속 필름 및 유전체를 포함한 에칭 재료에 충분한 전력을 제공합니다. 하이브리드 제어 장치 (hybrid control unit) 는 에칭 조건을 정확하게 최적화하여 전체 기판에서 매우 균일 한 에치 특성이 생성되도록 합니다. 컴퓨터에는 설정 프로세스를 단순화하는 자동 기판 로드/언로드 기능이 있습니다. 또한 에치 챔버 (etch chamber) 를 필요한 압력으로 빠르게 대피시키는 자동 터보 펌프가 특징입니다. 이 프로세스는 5분 이내에 완료됩니다. LAM RESEARCH Kiyo 45에는 에칭 작업 중 직원 안전을 보장하는 고급 안전 기능도 있습니다. 이러한 안전 기능에는 RF 차폐 캐비닛, 자동 가스 차단 밸브, 작동 압력 초과 시 가청 경보, 과압 상황 처리를 위한 가스 복구 도구 등이 있습니다. 결론적으로, 키요 45 (Kiyo 45) 는 휴대성과 유연성이 가장 중요한 소규모 에칭 및 애싱 작업에 이상적인 선택입니다. 강력한 RF 발전기, 자동 기판 적재/언로드 기능, 다양한 안전 기능 (Safety Feature) 이 장착되어 있어 시장에서 가장 안전하고 사용자에게 친숙한 시스템 중 하나입니다.
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