판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351382

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 탁월한 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계된 혁신적인 에처/애셔입니다. 이 장비는 다단계 포탄 원자로를 사용하여 최대 200nm/min의 에치 속도 (etch rate) 와 최대 40nm/min의 애싱 속도 (ashing rate) 를 효과적으로 달성합니다. 컴팩트한 디자인과 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 wafer fabrication, pattern removal, RIE, MEMS devices 등의 다양한 작업에 적합합니다. ONTRAK Kiyo 45에는 저압 작동을 갖춘 고밀도 플라즈마를 제공하는 고급 마그네트론 소스가 장착되어 있습니다. 이것은 에치 및 애싱 작업을 개선하고 반복성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 또한 etcher/asher는 닫힌 루프 (closed-loop) 전원 제어 시스템으로 인해 반복 가능한 결과로 개선 된 프로세스 창을 제공합니다. 이 제품은 6 "~ 12" 범위의 웨이퍼 크기에 대한 다양한 옵션을 제공하며, 최대 12 개의 레시피 슬롯을 구성하여 쉽고 효율적으로 생산할 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 다양한 기능을 갖춘 안정적이고 비용 효율적인 etcher/asher입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 흐름 제어 (flow control) 를 통해 프로세스 최적화를 쉽게 수행할 수 있습니다. 데이터 로깅 장치 (Data Logging Unit) 는 프로세스 데이터를 기록하여 신속한 문제 해결 및 문제 해결을 지원합니다. 또한 모듈식 설계 (modular design) 와 개방형 아키텍처 (open architecture) 를 통해 즉석에서 컴포넌트를 손쉽게 추가 및 제거할 수 있습니다. 안전을 위해 키요 45 (Kiyo 45) 는 사용자와 프로세스 도구를 손상으로부터 보호하는 강력한 연동재로 설계되었습니다. 이 유닛의 챔버 (chamber) 는 단단한 밀봉 플랜지로 오염을 완화하기 위해 밀봉되고 통풍됩니다. etcher/asher에는 완전한 전기 기계 보호를위한 집적 안전 회로가 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 다양한 프로세스 요구를 충족시키면서 반복 가능한 결과를 제공하는 훌륭한 에치/애쉬 도구입니다. 안정적이고 경제적인 툴로서, 운영 효율성과 생산성을 보장합니다. 다단계 쉘 반응기, 효율적인 디자인, 강력한 안전 기능을 갖춘 ONTRAK 키요 (Kiyo) 45는 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 요구에 이상적인 선택입니다.