판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9315258

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 고온에서 반도체 재료의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. 엔지니어 친화적 인 설계를 통해 최소한의 사용자 교육을 통해 쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. ONTRAK Kiyo 45의 디자인은 고품질의 고속 프로세스 성능에 최적화되었습니다. 그것 은 고온 흑연 증발 "소오스 '를 사용 하여 기판 에 고순도 원소" 소오스' 를 가스화 한다. 이를 통해 필름 두께와 균일성 (unifority) 의 변형을 최소화하면서 시간당 최대 50 웨이퍼의 처리량을 높일 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45에는 최대 16 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 멀티 존 프로그래밍 가능 핫플레이트도 포함되어 있습니다. 이로써 최대 5 개의 서로 다른 영역 (zone) 에 대한 정확한 온도 조절이 가능하며, 이는 다른 온도에서 특정 요소를 에치 (etch) 하고 ashing 할 수 있습니다. 키요 45 (Kiyo 45) 는 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 수용할 수 있으므로 반도체 산업의 다양한 프로세스에 적합합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 etcher/asher도 자동 작동을 위해 설계되었습니다. 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 나중에 사용할 수 있도록 설정을 저장할 수 있는 레시피 관리 장비가 포함되어 있습니다. 또한 이 시스템은 프로세스에서 실시간 피드백을 제공하여 운영자가 원하는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 충족하는지 확인할 수 있습니다. 종합적인 레시피 매뉴얼 (레시피 매뉴얼) 도 포함되어 있어, 적절한 매개변수를 이해하고 설정하기 쉬운 가이드를 제공합니다. ONTRAK Kiyo 45는 장기적인 신뢰성과 비용 효과를 위해 설계되었습니다. 입자 오염을 최소화하고 공정의 품질을 보장하는 고급 웨이퍼 처리 장치 (advanced wafer handling unit) 와 자동 클리닝 루틴 (automated cleaning routine) 이 있습니다. 이 기계는 또한 빠른 릴리스 웨이퍼 정렬 장치, 이동식 커버, 간편한 서비스 펌프 및 센서로 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Kiyo 45는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 고품질, 고속 처리 (High Speed Processing), 다중 영역 온도 제어 (Multi-Zone Temperature Control) 및 손쉬운 자동화 기능을 통해 다양한 유형의 에칭 및 애싱 프로세스를 손쉽게 선택할 수 있습니다.