판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314593

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 초고속, 초고성능 반도체 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 최대 40 밀리미터의 30 밀리미터까지 에치 또는 애쉬 할 수있는 인라인, 단일 패스 장비입니다. 이 시스템에는 고성능 고속 Smart Source Generator 레이저가 장착되어 있어 etcher/asher의 처리 속도와 정확도가 가장 높습니다. ONTRAK Kiyo 45는 다양한 장치 크기와 기판을 정확하게 에치 (etch) 하고 재 (ash) 하도록 구성 할 수있는 현장 구성 가능한 공구 단계를 특징으로합니다. 장치의 활성 빔 정렬 (active beam alignment) 은 최고 수준의 정확성과 프로세스 반복성을 보장합니다. 또한 자체 잠금 툴링 머신과 통합 프로세스 제어 도구가 제공됩니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 자동 배치 기능을 제공하여 최대 300 개의 작업을 자동으로 예약 및 처리할 수 있습니다. 이 자산은 프로세스 반복성, 프로그래밍 가능한 에치 타임과 같은 확장 된 프로세스 제어 기능도 제공합니다. 또한, 모델에는 작업 전송 및 원격 프로세스 제어를 위한 통신 인터페이스가 장착되어 있습니다. 키요 45 (Kiyo 45) 에는 연동 가드, 가청 경보, 안전을위한 반사 후방 챔버 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 장비는 또한 진동을 제거하도록 설계된 6 축 동작 제어 시스템 (6축 motion control system) 과 정확하고 반복 가능한 위치를 보장하기 위해 초정밀 은하계 장치 (galvanometer unit) 를 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 처리량과 정확도가 높은 고급 기술을 갖춘 업계 최고의 etcher/asher입니다. 이 기계는 다양한 기능을 제공하며 소형 기판 처리 (small substrate processing) 에서 다중 장치 생산 (multi-device production) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고급 프로세스 제어 도구 (process control tool) 와 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 ONTRAK Kiyo 45는 다양한 반도체 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다.