판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9299367

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 고품질 및 신뢰할 수있는 반도체 장치 구조를 제작하기 위해 설계된 고효율적이고 다재다능한 배치 에처/애셔입니다. 온트랙 키요 45 (ONTRAK Kiyo 45) 는 복잡한 장치 형상을 생성하도록 특별히 설계된 독특하고 고급 에치 기능을 제공하여 가장 고급 반도체 장치를 제작할 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45에는 Vmax 출력 전류 100kV 및 에치 속도 최대 30nm/min을 생산할 수있는 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 전원 공급 장치는 보다 정밀한 에칭 및 등각 마스크를 위해 제어 가능한 마스크 간격 및 용량 매개 변수를 제공합니다. 고급 챔버 및 코일 디자인은 에치 패턴의 균일성을 향상시키고 거칠기를 최소화합니다. 키요 45 (Kiyo 45) 에는 최대 120mm 웨이퍼의 더 큰 챔버 크기, 더 큰 용량 AC 및 최대 109 초의 확장 된 유지 시간이 있습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 터치 스크린 운영자 인터페이스와 결합 된 자동 전동 로드 잠금 (Motorized Load Lock) 및 로봇 웨이퍼 전송 시스템을 갖추고 있어 효율적인 웨이퍼 처리 및 손쉬운 작동이 가능합니다. 또한, 운영자 인터페이스는 웨이퍼 위치 및 etch 상태에 대한 실시간 피드백도 제공합니다. 고급 노즐 제어 (Advanced nozzle control) 는 넓은 빔 각도를 가능하게 하며, 더 높은 에치 균일성, 향상된 해상도 및 팁 손상 및 드리프트 위험이 낮습니다. ONTRAK Kiyo 45는 통합 미니 클린 룸 (mini clean-room), 로우 프로파일 (low-profile) 및 자동 가스 흐름 제어 시스템, 유해 가스 누출을 방지하기위한 통합 진공 안전 밸브를 갖춘 고도의 순도 및 안전성을 제공합니다. 외국 입자의 웨이퍼 오염을 제거하기 위해 클린 인 플레이스 (clean-in-place) 및 퍼징 시스템도 제공됩니다. Kiyo 55는 또한 RoHS를 준수하며 추가 안전 및 환경 이점을 제공합니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 고급 반도체 제작을 위해 만들어진 정밀 에처/애셔입니다. 키요 45 (Kiyo 45) 는 자동 전동 하중 잠금, 에치 패턴 균일성 향상, 유지 시간 연장, 높은 수준의 안전 및 순도 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK 키요 45 (Kiyo 45) 는 최고 수준의 신뢰성과 정확도로 가장 고급 반도체 구조와 장치를 제작하기위한 완벽한 장치입니다.