판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9281381

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 직경이 최대 45mm 인 와퍼를 에칭 할 수있는 핫 와이어 기술을 갖춘 배럴 에처입니다. 이 장비에는 940 리터 챔버 (chamber) 가 장착되어 있어 광범위한 재료를 쉽고 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 이 약실 에는 통합 "웨이퍼 '장전 장치 가 장착 되어 있어서, 한 번 에 최대 12 개 의" 웨이퍼' 를 자동 배치 할 수 있다. 온트랙 키요 45 (ONTRAK Kiyo 45) 는 온도, 압력, 유속과 같은 프로세스 변수의 뛰어난 제어 덕분에 작고 큰 웨이퍼의 고정밀 에칭을 제공합니다. 이 장치 에는 자동 장력 조절 장치 (tension control machine) 가 장착 되어 있어서, "와퍼 '가 식각 과정 중 에 제자리 에 있게 한다. 또한, 에칭 사이클을 정확하게 프로그래밍 할 수 있으므로 에칭 레이트 (etching rate) 와 서피스 마무리 (surface finish) 를 정확하게 제어 할 수 있습니다. "에칭 '과정 은 진공 상태 에서 수행 되며, 이것 은" 에칭' 결과 를 가장 정확 하고 깨끗 하게 해 준다. 이 도구 는 또한 후면 "히터 '를 갖추고 있는데, 이" 히터' 는 "웨이퍼 '의 뒷면 의 온도 를 조절 하는 데 사용 할 수 있으며, 양면 의 균일 한" 에칭' 을 보장 한다. LAM RESEARCH Kiyo 45에는 에칭 대기 모니터링을위한 활성 산소 센서 (active oxygen sensor) 와 비상 차단 밸브 (emergency shut-off valve) 를 포함한 다양한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 자산은 폐기물 가스 (Waste Gas) 와 탄력성 화학 물질을 줄이기 위해 설계된 에너지 효율적이고 친환경적입니다. 에칭 서비스 외에도 키요 45 (Kiyo 45) 는 코팅, 금속화, 가열 처리 등 다양한 서비스에 사용될 수 있습니다. 이 모델의 유연성은 많은 제조 및 연구 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.