판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589654

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 고급 에처/애셔입니다. 탁월한 성능, 저렴한 웨이퍼당 비용, 안정적인 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. ONTRAK Kiyo 45는 직경이 2 인치에서 8 인치까지 웨이퍼를 에칭/애싱 할 수있는 고속 다중 구역 에치/재입니다. 이중 구역 챔버 (Dual-Zone Chamber) 와 처리량이 높고 주기가 적은 대형 공정 챔버 (Mage Process Chamber) 가 장착되어 있습니다. 이중 영역 챔버는 매우 정밀하고 일관된 에칭/애싱 매개변수를 제공합니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 공정 실 로 이동 시키는" 프로그램' 가능 망원경 "컨베이어 '를 갖추고 있다. 이 컨베이어는 다양한 위치에서 웨이퍼를 이동 및 고정하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 에치/애쉬 (etch/ash) 에 대한 정확하고 반복 가능한 위치를 허용합니다. Kiyo 45에는 석영, 폴리 실리콘, 실리콘, 금속 및 유전체를 포함한 다양한 기판 재료가 있습니다. 최대 950 ° C의 프로세스 온도를 지원하며 최대 170 torr의 압력을 가합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 배치 및 단일 웨이퍼 처리를 모두 수행할 수 있습니다. 원격 프로세스 모니터링 (Remote Process Monitor) 기능을 통해 사용자는 원격 위치에서 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. ONTRAK Kiyo 45는 또한 진공 공정 압력 제어, 폐쇄 루프 챔버 온도 조절 및 폐쇄 루프 공정 화학 제어를 특징으로합니다. 최첨단 컬러 그래픽 사용자 인터페이스 (옵션) 와 Windows 컴퓨터 컨트롤러 (옵션) 가 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 신뢰성을 극대화하도록 설계되었으며 포괄적인 보증이 제공됩니다. 고급 프로세스 통합 (Advanced Process Integration) 을 기반으로 한 설계로 유지 보수 및 운영이 용이합니다. 또한 고급 진단 기능을 통해 빠르고 정확한 문제 해결을 지원합니다. 전반적으로 Kiyo 45는 강력하고, 안정적이며, 비용 효율적인 etcher/asher이며, 우수한 성능을 제공하고, 광범위한 프로세스에 가치를 더했습니다.