판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589530

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 업계 리더 ONTRAK이 제조 한 정교한 에처/애셔 장비입니다. 정교한 아르곤 플라즈마 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼의 정확한 에칭 및 재싱을 가능하게합니다. ONTRAK Kiyo 45의 특허를받은 디자인은 RF 발전기, 터보 펌프 (turbo pump), 디지털 전자 컨트롤러 (digital electronic controller) 와 같은 고급 전자 기계 부품을 사용하여 원하는 기판 재료를 보다 정확하고 반복 가능하게 처리합니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용자 친화적이며, 운영자는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 매개변수, 프로세스 레시피, 시스템 성능 모니터링 등의 변수를 실시간으로 빠르고 쉽게 선택할 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45의 플라즈마 소스는 우수한 에너지 효율성을 갖추고 있으며, 전체 기판에 걸쳐 탁월한 에치 레이트와 균일성을 제공합니다. RF 발전기는 견고하며, 품질 에치 (etch) 프로세스를 위해 에너지 손실이 매우 적은 최대 15kW까지 전달할 수 있습니다. 열 관리 장치는 Kiyo 45와 통합되어 대규모 etch/ash 워크로드에서 빠른 처리 시간을 제공합니다. 이 기계는 큰 에치/애쉬 볼륨 워크로드 동안 웨이퍼 온도 상승률을 최대 6 ° C로 줄이는 것으로 입증되었습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 LAM RESEARCH Clario 플랫폼으로 구동되며, 데이터 보안 및 규정 준수를 보장하기 위해 고급 레시피 개발 및 추적 용이성이 뛰어납니다. 광범위한 레시피 및 공정 챔버 (process chamber) 공정은 기판 재료와 원하는 매개 변수가 무엇이든 ONTRAK Kiyo 45를 제공 할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 신뢰할 수 있고 강력한 etcher/asher 도구입니다. 연구개발 (R&D), 부피 생산, MEMS 기기, 고급 반도체 제품 등 다양한 에칭· 애싱 애플리케이션에 적합하다. 탁월한 수준의 정밀도, 성능, 신뢰성을 갖춘 Kiyo 45는 재료 처리를 위한 완벽한 선택입니다.