판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590
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판매
ID: 9312590
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Etcher, 12"
(3) Poly
FI Type:
Signal tower: 3-Color
(3) Loadports
ATM Robot
(13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station
Aligner
TM Configuration:
Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber
BROOKS Magatran 7 Robot
(4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223
HPS 970 TM Pressure gauge
MKS 640 Control
Loadlock pressure gauge: Hasting
Process module for PM1 / PM2 / PM3:
MKS Pressure gauge, 0.1Torr
VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve
EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias
Gas panel:
Type: IGS
16-Channels
MFC Type: SEC-Z313M
Gas / Range
CF4 / 50 SCCM
CH2F2 / 50 SCCM
H2 / 100 SCCM
SF6 / 10 SCCM
Ar / 500 SCCM
N2 / 100 SCCM
CHF6 / 200 SCCM
C2F6 / 200 SCCM
CF4 / 200 SCCM
SF6 / 200 SCCM
He / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
Cl2 / 200 SCCM
HBr / 50 SCCM
HBr / 500 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45는 서브 미크론 기능 크기의 고정밀 미세 구조를 생산하도록 설계된 에처/애셔 도구입니다. 이 도구는 단일 가공 패스에서 최대 5 마일 (127.0 ° m) 의 재료를 에칭/분해하고 최대 12 "(305.8 mm) 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 2 개의 독립적 인 가스 경로를 갖추고 있으며, 금속 필름과 비 금속 필름, 합금의 에칭을 허용합니다. 이 도구는 또한 ± 0.005 mm (0.0002 ") 의 인상적인 정확도와 ± 0.001 mm (0.00004") 의 반복 가능성을 제공하여 고품질 구성 요소를 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 장치에는 다양한 에칭 프로파일과 균일 한 에치 레이트를 제공하는 이중 소스 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 또한 15W 이산화탄소 (CO2) 레이저로 부품에 레이저 마크를 적용하고 레이저 빔을 모니터링할 수 있는 고해상도 (high-resolution) 카메라가 특징입니다. ONTRAK 2300 Kiyo45는 HF (High-Frequency) 옵션을 갖춘 고급 RF (Radio-Frequency) 전원 공급 장치를 사용하여 패턴화 반복 성을 높이고 생산 처리량을 향상시킵니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45에는 색상 터치 스크린 인터페이스, 자동 기판 인식, 프로세스 최적화 매개변수, 다양한 프로세스 설정 등 사용자에게 친숙한 기능이 로드되어 있습니다. 또한 정확한 ID 감지 및 시력 보조 기판 정렬을 제공하기 위해 빠르고 정확한 비전 시스템을 제공합니다. 이 도구는 입자 관련 결함을 줄이고 처리량을 극대화하도록 설계되었으며, 고객의 특정 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 2300 Kiyo45는 화면 비율이 높고, 기능 크기가 작으며, 에치 후 잔량이 최소인 초고속 (ultra-fine) 구조물을 생산하기에 적합하여 평면 패널 디스플레이, 항공 우주 부품, 의료 기기 부품 등 다양한 제조 어플리케이션에 적합합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45는 정확한 에칭 제어, 뛰어난 정확도 및 다재다능성의 조합 덕분에 안정적이고 정확한 etcher/asher 도구를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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