판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9258553

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45는 고급 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 장치는 드라이 에칭, 습식 에칭, 산화물 에칭, 플라즈마 에칭 등 다양한 에치 프로세스를 지원합니다. 또한 염소 기반 애싱 (ashing) 및 질소 기반 애싱 (ashing) 과 같은 애싱 작업을 수행 할 수 있습니다. 키요45 (Kiyo45) 는 복잡한 반도체 에칭 및 애싱 작업에 적합한 다양한 기능을 자랑합니다. 자동화된 프로세스 제어에는 시퀀스 프로그래밍 및 모든 매개변수를 정확하고 쉽게 제어하기위한 직관적 인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함됩니다. 또한 최적의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 위해 즉석에서 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있도록 빠른 응답을 제공하는 동적 제어를 제공합니다. Kiyo45에는 강력한 RF 발전기가 장착되어 있으며, 대형 웨이퍼를 통해 매우 균일 한 에칭이 가능합니다. 독특한 핫 월 (hot wall) 구성은 전체 웨이퍼 표면에서 균일성을 최적화하며 대형 웨이퍼를 사용해도 프로세스 시간이 길어집니다. Kiyo45는 고급 MEMS 응용 프로그램을위한 깊은 플라즈마 트렌치의 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 같은 특수 에치 프로세스 개발에 이상적입니다. 하드웨어/소프트웨어의 포괄적인 업그레이드를 통해 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 처리할 수 있습니다. 또한 최고의 프로세스 제어 (process control) 와 매우 높은 수준의 안전 (safety) 을 보장하는 고급 안전 시스템이 있습니다. Kiyo45는 오늘날 가장 인기있는 에처 중 하나입니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 동적 제어 (Dynamic Control), 전력 RF 생성기 (Power RF Generator) 및 핫 월 (hot wall) 구성을 통해 고품질 반도체 부품을 생산하는 데 적합합니다.