판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9241856

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45는 최고의 제품 수익률과 최저 소유 비용을 달성하도록 설계된 asher/etcher입니다. 하나의 배치에서 최대 5 개의 다른 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 처리 속도는 시간당 최대 10 만 웨이퍼 (wafer) 입니다. 이 시스템은 새롭고 개선 된 미니 팬 빔 (mini-fan-beam) 유통 소스를 활용하여 뛰어난 빔과 빔 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 30 ~ 150 미크론 범위의 고속, 고효율 에칭을 사용합니다. ONTRAK 2300 Kiyo45는 각 응용 프로그램의 정확한 처리를 위해 다양한 설계 및 처리 옵션을 제공합니다. 단일 위치 웨이퍼 핸들러와 SPE (Sub-Angle Programmable Etch) 를 포함하여 고급 웨이퍼 처리 기능이 있으며, 이를 통해 빔의 각도를 자동으로 조정하여 에치 균일성을 유지하고 오염 물질에 노출되지 않습니다. 또한 온도 범위는 섭씨 -30도 ~ + 150도, 웨이퍼 틸트 조정 각도는 + 7.5 및 -10.0도 인 기판 및 웨이퍼 온도 모니터링이 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45는 Autofill Dispense and Alignment, LF Carrier 및 Recipe Management를 통해 매우 자동화되었습니다. 고급형 결함 검사 기능도 갖추고 있어 표면 오염 (surface contamination) 과 사후 (post-etch) 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 고성능 3D 웨이퍼 매핑 기능을 갖추고 있으며 프로세스 생산성 향상에 사용할 수 있습니다. 2300 Kiyo45는 다용도, 고성능 asher/etcher 솔루션으로, 기존 및 향후 생산 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 고급 안전 (Safety) 기능으로 설계되었으며 설치와 작동이 간편한 운영자 친화적 사용자 인터페이스를 제공합니다. 고급 빔 및 에칭 기술로, 일관된 결과와 최적화 된 수율을 제공합니다.