판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 평평하고 큰 차원의 기판을 고속 패턴화하도록 설계된 에처/애셔입니다. 그것은 장치 제조를 위해 반도체 산업에서 가장 자주 사용됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 유도 결합 된 RF 에너지 및 직접 쓰기 전자 빔 에칭을 사용하여 재료 배열의 증착 및 패턴화에서 높은 처리율을 달성한다. 이 장비에는 얇은 산화물 에칭을 수행하기 위해 전자 레인지 소스와 2 개의 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 에 더하여, 이 "시스템 '은 두께 가 2.5" 미터' 인 "알루미늄 '과 두께 가 5" 미터' 인 "알루미늄 '을 가공 할 수 있다. 이 장치의 Work-in-Progress (작업 진행 중) 및 Reel-to-Reel (릴-투-릴) 통합은 높은 처리량과 전력 효율성을 제공하는 반면, 검사 모니터는 마스크 및 광학 이미징 없이도 전체 인쇄 웨이퍼를 지속적으로 검사할 수 있습니다. 또한 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 유연하고 효율적인 처리를 위해 각 공정 챔버 및 개폐식 탑로드 머신에 쉽게 액세스 할 수있는 유연한 원자로 설계를 갖추고 있습니다. Exelan Flex (엑셀란 플렉스) 는 연산자 친화적인 PC 기반 소프트웨어로, 사용자에게 버튼이 닿아 있는 각 프로세스 단계를 구성할 수 있는 다양한 도구를 제공합니다. 이 도구는 일반 지침과 프로그램 실행 외에도 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 수동으로 제어하고 설정할 수 있으며, 각 챔버 (chamber) 의 프로세스 상태에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 또한 장비의 성능을 지속적으로 모니터링하는 수많은 자체 진단 기능을 제공합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 또한 널리 사용되는 많은 CAD 형식과 호환되며, 기존 운영 라인에 쉽게 통합되고 전체 프로세스를 자동화 할 수있는 모듈식 디자인을 자랑합니다. 실리콘, 유리, 플라스틱, 금속 합금 등 다양한 기판의 패턴화에 적합한 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 전반적으로 ONTRAK 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 고급적이고 비용 효율적인 에처/애셔로, 고속 패턴화 및 증착이 필요한 반도체 산업에 이상적인 선택입니다.