판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9240729

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 특허를받은 플라즈마 기술을 갖춘 고정밀 플라즈마 에칭 장비입니다. 이 에처는 뛰어난 에치 품질, 높은 프로세스 안정성, 뛰어난 균일성을 갖춘 다양한 반도체 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 다양한 온도 범위를 제공하며, 다양한 작동 조건을 지원합니다. 에처 (etcher) 는 클러스터링 응용 프로그램에도 사용될 수 있으며, 최대 8 개의 공정 챔버를 수용 할 수 있으며, 구성 요소를 동시에 에칭할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 펄스 플라즈마 소스로 구동되며, 경유 에치, 게이트 옥사이드 에치, 질화물 에치 및 고 종횡비 에치와 같은 응용 분야에 대한 우수한 에치 프로세스 제어를 가능하게합니다. 고급 플라즈마 처리 시스템은 다차원 자기장을 사용하여 균일 한 플라즈마 분포와 고도로 반복 가능한 에치 프로파일 (etch profile) 을 생성합니다. 이로 인해 우수한 에치 깊이 균일성과 낮은 장치 스탠딩 웨이브가 발생합니다. 또한 동적 프로세스 제어를 위해 통합 가스 믹서 (gas mixer) 와 자동 가스 패널 (gas panel) 이 있습니다. 에처 (etcher) 에는 에치 프로세스를 모니터링하기 위해 온보드 광학 종점 탐지 장치가 장착되어 있습니다. 또한 에치 (etch) 매개변수를 모니터링하고 조정하여 정확하고 반복 가능한 에치 프로파일을 가능하게 하는 자동 제어 머신 (automated control machine) 이 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 설치 공간이 작으며 웨이퍼 로더 (wafer loader), 로봇 핸들러 (robot handler) 또는 에치 후 검사 도구 (post-etch inspection tool) 와 같은 다른 장비와 쉽게 통합 될 수 있습니다. 이 제품은 자산 구성을 완벽하게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 (modular) 설계를 제공하며, 유지 관리 및 프로세스 전송도 용이합니다. 결론적으로 ONTRAK 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 다양한 반도체 어플리케이션을 위해 설계된 혁신적인 에처로, 뛰어난 에치 품질, 높은 공정 안정성, 뛰어난 균일성을 갖추고 있습니다. 고급 플라즈마 처리 기술 및 반복 가능한 에치 프로파일 (etch profile) 은 플라즈마 에칭 프로세스에 이상적인 선택입니다.