판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871
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ID: 9237871
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Dielectric etcher, 12"
(2) Chambers
2300 Transport module
Dual arm effector wafer handling, 12"
Automated wafer centering
Flat / Notch finding
User interface
Side monitor
Press gauge in SI unit
Online: GEM 300
(2) 2300 Exelan flex DD etch process modules
Fixed gap electrode / One box
ALCATEL 1600MT
Dual gas feed
Dual zone ESC
Heated upper electrode
(2) 12 Gas configurations
2 PM stack kit
System UPS circuity
Seismic bracket (TM / PM / MWS)
System weight dispersion plate (TM / PM / RPM)
ELB With ring lug
(24) MFC 1661 Units
(2) PIO Sensors
(2) OMRON Tag readers
Analog press gauge in SI unit
Digital press gauge in SI unit
Signal input / Output
Quick cleaning kit
2300 Exelan Pend valve CLN kit
(2) TCU: ATS DEX-20A Chillers
(3) FOUP
2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 반도체 제조 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 강력한 에치 및 애셔 장비입니다. 특허를 획득한 엑셀란 (Exelan) 처리 플랫폼을 기반으로 제작된 이 고급 시스템은 습식 (wet) 및 건식 (dry) 에칭과 재싱 (ashing) 모두에 최고 수준의 정밀도 및 성능을 제공합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 장치는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 에치 앤 애셔 (etch and asher) 작업 중 개별 챔버를 제어하고 조건을 모니터링 할 수 있습니다. 내장형 데이터 로거를 사용하면 모든 프로세스의 모든 설정 및 데이터 포인트를 추적, 모니터링할 수 있습니다. 이 데이터는 etch 및 asher 프로세스와 최종 제품의 품질 간의 상관 관계를 식별하는 데 사용될 수 있습니다. 고급 머신은 듀얼 모드 에칭 (etching) 과 같은 독점적 인 처리 기술을 특징으로하며, 이를 통해 동시에 에칭 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있습니다. 따라서 전체 (full) 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스에 필요한 시간을 줄이고 모든 운영 실행에서 일관된 결과를 유지할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 2 차원 에칭 기능을 제공하여 각도 또는 곡선 모양을 에칭할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 에는 이동식 핫플레이트도 있어 쉽고 정확한 유지 관리 및 프로세스 제어가 가능합니다. 또한 핫플레이트는 최대 500 ° C까지 가열 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 고급 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스에 대한 전체 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. 마지막으로, 자산은 안전 조치를 내장하여 과열 시나리오를 방지하고 다운타임을 줄입니다. 전반적으로 ONTRAK 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 강력한 에칭 및 애싱 모델로, 사용자에게 최고의 정밀도 및 성능을 제공합니다. 사용자는 듀얼 모드 에칭 (etching), 2차원 에칭 (etching) 및 이동식 핫플레이트 (hot plate) 를 활용하여 모든 운영 실행에서 일관성 및 전체 프로세스 제어를 보장할 수 있습니다. 또한 안전 측정 (Safety Measures) 및 내장형 데이터 로거 (Data Logger) 는 보호 및 데이터 추적 계층을 추가로 제공합니다.
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