판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9235397

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 복잡한 장치 구조의 높은 처리량을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 산화물, 질화물 및 기타 유전체 물질을 에칭 할 수 있으며, 비휘발성 탄소질 유기 (non-volatile carbonaceous organics) 를 뛰어난 균일성과 정밀도로 초고속 (ultrahigh speed) 으로 제거 할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 듀얼 RF 생성기를 사용하여 AC 및 DC 모드에서 에치 속도가 높으며, 최적의 제어를 위해 전원 수준을 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 멀티 소스 가스 전달 장치 (multi-source gas delivery unit) 를 통합하여 에칭 프로세스 동안 최대 3 개의 가스를 도입하여 유연성을 강화합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 저압 정전 용량과 유도 결합 플라즈마 (CCP 및 ICP) 에칭의 조합을 제공하여 광범위한 장치 구조에 대한 탁월한 성능을 제공합니다. 최첨단 제어 머신은 강력한 MLU (Mathematical Logic Unit) 알고리즘을 통해 사용자 조정 가능한 바이어스 전압, 가스 압력 및 기타 제어 매개변수와 결합하여 뛰어난 프로세스 반복성과 균일성을 제공합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 또한 가장 엄격한 산업 표준을 충족시키는 뛰어난 안전 기능을 갖추고 있습니다. 전체 봉인 환경 챔버 (full-seal environment chamber) 는 프로세스 가스와 유해 부산물의 안정적인 격리를 보장하며, 저압 환경에서 안전한 작동을 가능하게합니다. 자동화된 자가 청소 툴 (Automated Self-Cleaning Tool) 을 통해 운영 중 수작업 요건을 줄이거나 제거하며, 재료 처리 작업을 자동화하고 빠른 설치 및 고효율 운영을 용이하게 하는 포괄적인 프로세스 인벤토리 제어 자산 (Process Inventory Control Asset) 을 제공합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 탁월한 성능과 신뢰성으로 인해 마이크로 일렉트로닉스 산업에 널리 채택되었습니다. 균일성과 반복성이 뛰어난 초고속 에치 레이트 (etch rate) 로 다양한 유전체를 처리 할 수있는 능력은 고성능 집적회로, VLSI 및 ULSI 장치, 기타 다양한 마이크로 일렉트로닉 부품 생산에 이상적입니다. 첨단 안전 (Advanced Safety) 기능은 인력과 장비의 안전을 보장하는 반면, 종합적인 프로세스 제어 모델은 일관된 결과를 보장합니다. 이러한 모든 자질을 결합하면 ONTRAK 2300 Exelan Flex는 최적의 마이크로 전자 장치 제조에 적합한 선택입니다.