판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9119643

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ID: 9119643
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Dielectric etcher, 12" Process: OX Software Revision: 1.7.2 SP2 HF4 CST2 Factory Automation: OHT PIO Sensor AMHS: AMHS - OHT Carrier: FOUP Interface: 3 carrier stage Online Connection: GEM / CIM JGJ Hardware Interface : Ethernet 100Base-Tx Utility Box: Air/AR2500(SMC), N2/SQ-420E He/SQMICRO(VERIFLO) Utility Box: Manual Valve : OGD20V-6RM-K / OGD10V-4RM-K (CKD) Utility Box: Pressure Gauge : Bourdon Gauge Platform Type: Version 2 UPS on system: Yes Earth Leakage Breaker Gas Box: Transport Module, GIB for 16 lines IGS GBX Signal Tower: Red/Orange/Green/Blue EMO: (2) Front, (6) Rear Foreline: Not Heated Sub-panel: Dual Drop Sub-panel Interconnect Cables: TM to sub-panel, 50 ft Pump to TCU: 50 ft TCU to PM: 50 ft PM to Pump Interconnect: 50 ft Inter Lock: Gas Box Door Inter Lock: External Support Remote Units Chiller Lower: ATS DEX 20A Coolant: FC3283 Chiller Hose: 5/8 ID Braided Stainless Flex RF Generator 2 MHz: Including RF Cable Tru-8743-07 RF Generator 27 MHz: Including RF Cable Tru-8743-07 RF Matcher, 2-27 MHz, DFC: RF Matcher, 2-27 MHz, DFC Wafer ID Reader: WIDS Bottom Read Carrier ID Reader: Asyst RF Advantag EIM Server: EIM Server-One EIM server per 8 frames Hardware Configuration Process Ch.1,2,3,&4: 2300 Exelan Flex Wafer Input Buffer Station: KIT,JIT<OPT<25 STATION BUFFER,300MM Endpoint type: Optical Emission Spectroscopy ESC type: Dual Zone/Flex Bipolar Focus ring: Hot Edge, Si High-conductance Wap Ring: 4 Ring Gap: 2.34 cm TMP: ALCATEL ATH,1600M Dry Pump: IH600 Transfer Module Backing Pump: EPX with N2 Gas Module Pressure Monitor: C/M ( Process Monitor ) 628B01TDE1B (MKS ) 1 Torr Pressure Monitor: C/M ( Service Monitor ) 625A-14059 10 Torr Pressure Monitor: C/M ( Foreline Monitor ) 625A-14059 10 Torr Pressure Monitor: Absolute Pressure switch 75 Torr Lam P/N 768-093959-001 Pressure Monitor: Differential Pressure switch Activation 7mm Hg Vac Precision Sensors P/N D48W-14 Upper Electrode: Heated Constant Temperature Control Coolant Temp Monitor Kit: Coolant Temp Monitoring Kit for Top Plate & Lower Electrode O-Rings: FluoroSilicone Chamber Isolation Valve: Barrier Seal Door Wafer Lift Mechanism: Direct Drive Gas Position Gas line 1-C4F8 50 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 2-O2 50 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 3-CHF3 100 sccm-AERA FC-D780CU Gas line 4-CF4 200 sccm-AERA FC-D780CU Gas line 5-30% O2/HE 100 sccm-AERA FC-D780CU Gas line 6-C4F6 50 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 7-CH2F2 50 sccm-AERA FC-D780CU Gas line 8-CF4 1000 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 9-H2 1500 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 10-AR 1000 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 11-N2 1000 sccm- AERA FC-D780CU Gas line 12-O2 3000 sccm- AERA FC-D780CU Tuning Gas: 30% O2/HE 50 sccm-AERA FC-D780CU Gas Box Configuration Purge: N2 (Process Grade N2) Filter: Final gas : Mykrolis Gas Box Inlet Option: Regulated Inlet Gas Panel Non-standard PM/GB Feature: Enhanced gas box with 12 gas lines. Gas Line Pressure Transducer: Actual pressure transducer WITHOUT digital readout Regulator: SQMICRO (VERIFLO) Piping: Single Contained Hasteloy Piping (Gas box to Final valve & Exhaust through Gas box) Final Pressure Switch: Absolute Pressure switch 400 torr Lam P/N 796-002833-003 Process Kit Config Upper Outer Electrode: ASSY,ELCTD,OUTER,.18 STEP,300M Upper Inner Electrode: ASSY,ELCTD,INNER,TC,300MM Quartz WAP Ring: RING,WAP,Twist Lock,17IN,300MM Quartz Generic Ring: RING,WAP,QTZ Gas Feed Ring: Ring, Ptn, Gas Feed, Dual Zone Dual Zone ESC: ESCASSY,DZ CLG,2 FNSH,300MM ESC Bolts: ESC Bolts - 10-32 x1.125 lng, vented Edge Ring Cover (In): COV,H/E RING,QTZ Focus Cover Ring: B,FOCUS R CVR,DFC 300MM Hot Edge Ring: RING,HOT EDGE,.195 HGT,SI,DUAL ZONE ESC Edge Ring Cover (Out): RING,COVER,OUTER,GND Fixed Coupling Ring: RING,TOP,ADJ,CPLG,2300,300MM,D Ground Shield: SHLD,GND,300MM,2300 Liner: LINER/SPCR,EXT GND RING,2.0CM GAP 4-ringer Hangers: HANGER,4R,.025,.08-.08-.12-.12,.010FW Retainer Spring: ASSY RETAINER SPRING 1/4-20 Peek Nut: NUT,1/4-20,VIRGIN PEEK Peek Clocking Washer: WSHR,FL,PEEK,.263IDX.682ODX.06THK Peek Sleeve: SLV,ADPTR,SLIP-ON,SELFCNTR,V PEEK 0.010" Peek Pad: PAD,R,CONF,.010THK.300MM 2008 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher는 다양한 에치/애쉬 프로세스에 대한 유연하고 저렴한 솔루션입니다. 비용 효율적이고 고성능, 깊은 에칭을 위해 특별히 설계되었습니다. 여러 샘플에서 뛰어난 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. Exelan Flex는 가스 전달 시스템, 2 개의 자동 조리개, 컨트롤러 및 컴퓨터 제어, 50kHz RF 발전기로 구성된 올인원 장비입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 넓은 지역 범위와 심지어 큰 샘플의 에칭을 제공하는 독특한 일련의 수지 구슬 노즐 디자인을 특징으로합니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 1.5 미크론/분, 총 에치 깊이 50 미크론으로 모든 유형의 기판을 에칭하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 여러 에치 유형에 대해 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에치 프로파일 및 레시피 실행을 제공 할 수있는 제어 장치가 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 사용자에게 프로세스 시간, 전원, 가스압, autodrimpot 수준 등과 같은 다양한 프로세스 최적화 매개 변수를 제공합니다. 사용자는 저전력 에칭 창 (low to high power etching window) 을 제공하는 펄스 모드 (pulse mode) 에서 일정한 전원 에칭 프로파일 (etching profile) 까지 에치 프로파일을 제어할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 에는 질소 기반 백필 머신 (backfill machine) 이 장착되어 전자의 평균 자유 경로 감소와 에칭이 적은 전원이 필요합니다. 백필 도구는 또한 일관된 가스 백필 압력을 유지하기 위해 레벨 감지 프로브 (level detection probe) 를 특징으로합니다. 또한, 실시간 에치 레이트 (etch rate) 를 나타내고 사용자가 에치 프로세스의 진행 상황을 면밀히 모니터링 할 수 있도록 저압 에치 레이트 모니터가 제공됩니다. Exelan Flex에는 RF 생성기, 삼각대, autodrimpot 및 컨트롤러가 제공되므로 쉽게 설치하고 사용할 수 있습니다. 이 자산은 또한 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 모델로 구성되어 있어 최대 64 개의 에치 레시피를 프로그래밍하고 저장할 수 있습니다. 또한 이 컨트롤러는 직관적인 컴퓨터 인터페이스와 모든 기능을 갖춘 7 인치 (touch-screen) 컬러 모니터를 제공하여 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 ONTRAK 2300 Exelan Flex는 경제적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 사용자에게 유연한 etch 프로세스에 대한 다양한 옵션을 제공합니다. 이 장비는 우수한 성능, 반복 가능한 에치 (etch) 프로파일, 다양한 에칭 어플리케이션에 대한 정교한 제어 기능을 제공합니다.
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