판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 복잡한 기판 처리 응용 프로그램을 가능하게하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. etcher/asher는 높은 측면 해상도와 선택성이 필요한 응용 분야에서 패턴 및 마스킹 기판을위한 고밀도 reactive-ion etching (RIE) 및 ash-in/ash-out 기술을 결합합니다. ONTRAK 2300 Exelan Flex는 나노 수준의 정밀성 및 반복 성을 위해 가변 압력 공기 베어링 기반 모션 제어 장비를 갖추고 있으며, 에칭과 애싱 모두에 대한 고효율 ECR (Multicusp Electron-cyclotron-resonance) 무선 주파수 (RF) 소스를 갖추고 있습니다. 이 ECR 소스를 사용하면 에치 프로파일 (etch profile) 과 선택성 (selectivity) 을 정확하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 더 빠른 주기 시간과 보다 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 에처/애셔 (Etcher/asher) 는 스핀들 드라이브 자동 기판 처리 시스템을 갖춘 최적화된 멀티존 로드 잠금 (multized multizone load-lock) 기능을 제공하여 기판을 안정적이고 반복적으로 전달합니다. 또한 처리량을 높일 수있는 외부 터보 펌프 기반 진공 장치가 포함되어 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex는 완전히 자동화되도록 설계되었습니다. 자동 프로세스 레시피는 multi-chamber ash-in/ash-out 및 RIE 레시피를 포함한 다양한 기판 및 프로세스에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. 하드웨어와 소프트웨어를 사용하면 기존 시스템 및 네트워크와 쉽게 통합할 수 있습니다. 전체적으로, 2300 Exelan Flex는 다양한 기판에서 고정밀 나노 미터 스케일 프로세스가 필요한 응용 프로그램의 요구를 충족시키는 고급 기판 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 가변 압력 공기 베어링 모션 컨트롤 머신, 최적화 된 멀티존 로드 잠금 및 스핀들 드라이브 도구, 외부 터보 펌프 기반 진공 자산으로, 엄청나게 빠르고, 정확하고 일관된 결과를 제공합니다. 정교한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 nanofabrication 애플리케이션에 이상적인 옵션입니다.