판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 웨이퍼 제작 및 기술 개발을위한 고급 에칭/어칭 장비입니다. ONTRAK 및 LAM RESEARCH 기술의 조합은이 시스템을 에칭, 애싱 및 청소 프로세스를위한 강력한 도구로 만듭니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 장치는 사이클 시간이 짧고 정확하고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 허용하고 높은 수준의 프로세스 유연성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 2 개의 고압 이온 챔버가 장착되어 있으며, 자동 고압 에칭 또는 애싱 (ashing) 또는 가스 펄스 변조를 통한 미세 튜닝 에칭이 가능합니다. 압력 범위는 100,000에서 1000 torr까지 선택할 수 있습니다. 각 챔버 (chamber) 의 압력은 독립적으로 조정 및 모니터링할 수 있으며, 동일한 공구에서 서로 다른 프로세스를 동시에 실행할 수 있습니다. 에셋은 또한 표준 에칭/애싱 공정과 대기 압력 애싱 공정을 결합 한 이중 소스 증기 에칭 (DSV) 에 대해 설정 될 수있다. Exelan Flex는 효과적이고, 고에너지 에칭 또는 재싱을위한 광대역 마이크로파 흥분 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 1.3 ~ 13.4 GHz (1.3 ~ 13.4 GHz) 의 다양한 주파수로 작동할 수 있으며, 프로세스 요구 사항에 따라 흥분을 조정하고 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 장치에는 고감도 열 관리 시스템 및 GRAC (Gas Repose Automatic Control) 가 포함되어 있으므로 챔버의 온도 및 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 고도로 통합된 기계로, 추가 구성 요소의 필요성을 줄이고 유연하고 자체 포함 된 에칭 또는 애싱 도구를 제공합니다. LAM RESEARCH/ONTRAK 및 ONTRAK은 전문적인 프로세스 설계 및 자산 통합 서비스를 제공하여 사용자는 모델을 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 장비에 사용되는 모든 부품은 품질 (Quality) 과 안정성을 보장하기 위해 광범위하게 테스트되며, 고정밀 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위한 안정적인 선택입니다.