판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 칩 생산에 필요한 웨이퍼를 처리하기 위해 설계되었습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 광범위한 기질에 대한 우수한 에칭/애싱을 제공하기 위해 개발되었습니다. 이 장치는 특허를 획득한 고효율 온도 조절 플라즈마 (Plasma) 공정을 통해 기존의 처리 방식보다 광범위한 에칭 및 애싱 (eching) 요구 사항을 충족합니다. 또한 사용자 지정 및 업그레이드 가능한 "플랫폼 '이 제공되며, 이를 통해 고객은 각자의 특정 애플리케이션 요구에 맞게 장비를 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. Exelan Flex는 사용이 쉽고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스에 대한 최소 운영자의 개입이 필요합니다. 개방 된 "카세트 '장전" 시스템' 과 배치 공정 을 위한 도구 를 "프로그램 '할 수 있는 기능 을 통해, 광범위 한" 웨이퍼' 를 신속 하고 정확 하게 처리 할 수 있다. 또한 실시간으로 오류를 감지, 수정하여 스크랩 속도를 낮출 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 에는 통합 질량 흐름 컨트롤러 및 완전 프로그래밍 가능한 웨이퍼 전송 로봇 (wafer transfer robot) 과 같은 기능이 포함되어 있어 프로세스 가스와 공압 진공을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 최적화하기 위해 여러 프로세스 매개변수를 제어할 수 있는 정교한 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 또한 주어진 시간에 전체 웨이퍼를 동시에 볼 수있는 고정밀 이미징 장치를 갖추고 있습니다. 이 강력한 이미징 머신 (imaging machine) 을 사용하면 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하고 웨이퍼의 핫스팟 또는 패턴을 식별하여 생산 작업 중 수율을 높이고 손실을 줄일 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 최소한의 화학 물질 및 용매로 작동하고 VDT (Video Display Terminal) 전구의 배출량을 줄여 친환경적인 에칭/애싱 솔루션을 제공합니다. 뛰어난 성능, 유연한 플랫폼, 사용이 간편한 인터페이스를 갖춘 ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher는 모든 칩 생산 요구에 적합한 솔루션입니다.