판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #78823
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판매
ID: 78823
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Etcher, 12"
Specifications:
Mainframe: 2300 ver 2.0 (4VPM)
(Qty 3) FOUP Loaders
(Qty 3) Hermos carrier ID
Light curtain for OHT
Status lamp (RYGB)
25-Slot input buffer station
Cable: TM-Subpanel, 100ft
TMLocal NSR: system backup software
(3) 2300 Exelan Flex CFE etch chambers:
PM1: 2007 vintage
PM2: 2007 vintage
PM3: 2007 vintage
Common Items (Qty 1 per chamber):
1600 L/S Edwards Turbo Pump
PMNSR6215: Dual Chiller Install Kit
PMNSR6496-1A (SEMI F47)
2300 Exelan FLEX Quick Clean Kit
2300 Exelan FLEX Pendulum Valve Kit
2300 Exelan FLEX Service Tool Kit
Gas Box: 16 Line Gas Box (IGS)
Software: 2nd HSMS (Fab comm.) Support
Qty 2: ESC, ASSY, DZ CLG, 2 FNSH, 12"
Electrical: 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
CE marked
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 에치 앤 애쉬 반도체 처리 장비입니다. 리소그래피 및 패턴, 에칭, 저항 스트리핑 및 재싱에 일반적으로 사용됩니다. 이 시스템은 고급 (High End) 모델로서 다양한 온도, 압력, 시간에 걸쳐 균일하고 정확한 처리 결과를 제공합니다. Exelan Flex는 웨이퍼 에치, 유전체 및 강자성 패턴, 플라즈마 에칭 등 다양한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. UWM (Universal Microwave) 생성기로 실행되며 다양한 프로세스 기능과 프로세스를 제공합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 에 높은 정밀도로 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 저항제 벗기기 및 재싱, 그리고 다른 화학 가공에도 효과적입니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 정확한 온도 및 압력 제어 덕분에 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. 여기에는 컴퓨터 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 만들고 모니터링할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 반복 프로그래밍, 실시간 그래픽, 배치 처리 등 다양한 고급 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 화학 관리 기능을 갖추고 있으며 사전 프로그래밍 된 레시피를 지원합니다. Exelan Flex는 매우 신뢰할 수 있는 툴로서 뛰어난 처리량과 전반적인 성능을 제공합니다. 또한 강력한 데이터 관리 자산을 갖춘 편리한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 모델에는 배기 장비 (Exhaust Equipment), 시스템 업그레이드 키트 (System Upgrade Kit) 와 같은 액세서리도 포함되어 있어 사용자가 최신 장치를 유지할 수 있도록 지원합니다. 마지막으로, 이 에치 앤 애쉬 머신 (etch-and-ash machine) 은 사고를 방지하도록 설계된 내장 안전 기능을 갖춘 최적의 안전을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 안정성이 높고 효율적이며, 사용자가 쉽게 정확한 패턴, 에치, 재를 만들 수 있도록 도와줍니다. ONTRAK 2300 Exelan Flex는 광범위한 석판 및 패턴 응용 프로그램을위한 훌륭한 선택입니다.
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