판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595651

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 다양한 마이크로 세공 응용 프로그램을 위해 설계된 강력하고 다재다능한 에처/애셔입니다. 실리콘, 갈륨 비소, 석영, 도자기, 기타 화합물 등 다양한 기판 재료를 처리할 수있는 능력은 연구원, 엔지니어, 생산 인력을 위해 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. ONTRAK 2300 Exelan Flex는 단일 장비에 최대의 프로세스 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 열, 플라즈마 및 UV 소스를 결합한 tandem 챔버 디자인으로 에칭/애싱 프로세스를 정확하게 제어합니다. 다재다능한 이중 챔버 시스템은 에칭, 애싱 (ashing) 및 수동화 프로세스에 사용될 수 있으며, 두 챔버 모두 개별적으로 조정하여 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 기판의 효율적인 로드/언로드 및 동시 프로세스 제어를 위한 동적 웨이퍼 처리 장치 (dynamic wafer handling unit) 도 내장되어 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex는 또한 정교한 제어 및 안전 기능을 제공하여 특히 사용자 친화적이고 안전합니다. 이 장치는 포괄적인 프로세스 모니터링 머신과 PID 제어 (PID Control) 를 활용하여 프로세스 신뢰성을 최적화하는 고속 데이터 획득 툴을 갖추고 있습니다. 안전성 강화 장치 (Enhanced Safety Device) 는 장비 손상 및 인력 손상의 위험을 줄여 주며, 섬세한 마이크로 패브라이션 (Microfabrication) 및 의료 기기 어플리케이션에 적합한 제품입니다. 2300 Exelan Flex는 사용이 간편한 설치, 제어 및 모니터링 기능도 제공합니다. 제어 장치는 비휘발성 레시피 스토리지와 반복 가능한 프로세스에 대한 원터치 (one-touch) 작업을 허용합니다. 이 자산에는 원격 운영 및 모니터링을 위한 통합 컴퓨터 인터페이스도 함께 제공됩니다. LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 간소화된 디자인 덕분에 의료 기기 생산에서 고급 전자 부품 생산에 이르기까지 모든 마이크로 세공 응용 프로그램에 효율적이고 비용 효율적인 에처/애셔입니다.