판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex는 에칭 및 에칭 프로세스와 관련하여 사용자에게 최고의 유연성을 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 범용 에칭 (etching) 에서부터 고정밀 마이크로패브레이션에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 처리하도록 설계되었습니다. 다용도와 신뢰성을 결합하면 많은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 적합한 선택이 가능합니다. ONTRAK 2300 Exelan Flex는 통합 컨트롤러, 전기 조립, 웨이퍼 캐러셀, 쇼어 헤드 및 사이드 월 어셈블리로 구성됩니다. 견고한 컨트롤러는 사용자 친화적인 그래픽 디스플레이와 간단한 작업, 매개변수 입력 (parameter input), 상태 표시 (status display) 를 제공하는 직관적인 제어판을 통해 시스템 전원을 공급합니다. 릴레이 (Relay) 와 컨택터 (Contactor) 를 포함하는 전기 어셈블리는 작동 중 적절한 전력 및 프로세스 수준을 보장합니다. 웨이퍼 캐러셀 (wafer carousel) 은 공정 챔버 안팎으로 이동하기 위해 웨이퍼를 안전하게 보유하고 있으며, 최적의 청결성과 내구성을 위해 연마 된 스테인리스 스틸 인테리어로 제작되었습니다. showerhead 및 sidewall 어셈블리는 RIE (reactive ion etching), ICP (inductively coupled plasma etching), ashing 및 stripping과 같은 다양한 맞춤형 프로세스를 제공합니다. 쇼어 헤드 (showerhead) 는 전체 웨이퍼의 균일 한 에칭을 제공하기 위해 설계된 반면, 사이드 월 어셈블리 (sidewall assembly) 는 선택적 에칭을 허용하며 프로세스 챔버에서 웨이퍼 위치를 최적화하여 에칭 시간을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 고급 레시피 생성 (Advanced Recipe Creating) 을 통해 우수하고 반복 가능한 에칭 결과를 달성하며, 이를 통해 프로세스 모니터링 및 조정이 가능합니다. 레시피 성능은 웨이퍼 위치 및 압력, 챔버 온도 및 압력, 가스 흐름 속도, 모든 레시피/배치 처리 시간 등 다양한 매개 변수를 분석하여 평가 및 더욱 최적화 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 과압, 과압 및 온도 모니터링 시스템과 같은 포괄적 인 안전 기능을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 최고 품질의 표준 및 사양에 맞게 설계 및 제조되어 많은 에칭 및 애싱 관련 요구에 이상적인 솔루션입니다. 다양한 유형의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에는 포괄적인 하드웨어/소프트웨어 기능, 안정성, 유연성이 결합되어 있어 탁월한 선택이 가능합니다.
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