판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 대용량 웨이퍼 제조를 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 첨단 칩 생산을 위해 제조 공장에서 사용됩니다. NOVELLUS Vector (NOVELLUS Vector) 는 다른 에칭 도구와 함께 와퍼 또는 칩의 다른 레이어를 정의, 형태 및 청소합니다. LAM RESEARCH Vector는 플루오린 기반 플라스마를 사용하여 실리콘, 구리 및 기타 재료의 얇은 층을 에치 및 청소합니다. 상대방에 비해 다양하고, 정확하고, 세부적인 에칭 작업을 수행 할 수 있습니다. HEPA (Helium-Enhanced Plasma Asher) 및 HDIC (High Density Inductive Coupling) 와 같은 고급 기술을 사용하여 온도, 유량 및 에치 속도 프로파일을 빠르고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 벡터의 독특한 RF 유도 소스 설계는 또한 입자 밀도 및 에너지 분포를 정확하게 제어 할 수 있으며, 이는 에치 (etch) 수율을 향상시키고 기판에 대한 원치 않는 손상을 최소화 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 안전과 효율성을 고려하여 특별히 설계되었습니다. 고급 자동화 기술 (Automation Technology) 과 품질 보증 (Quality Assurance) 작업을 통합하여 에칭 작업에 소요되는 시간을 대폭 단축합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector의 고급 소프트웨어 제품군은 프로세스 일관성을 보장하고 사람의 오류 가능성을 제거합니다. 따라서 공구 (Upon-tool) 도량형이 향상되어 프로세스 엔지니어가 중요한 성능 장애가 되기 전에 잠재적인 문제를 신속하게 감지할 수 있습니다. 이는 장치의 높은 처리량 (high throughput) 에 의해 추가로 지원되므로 대용량 생산에 이상적입니다. NOVELLUS Vector (NOVELLUS Vector) 는 또한 정교한 오염 제어 머신을 내장하여 신규 및 중고 재료의 모든 측면을 제어합니다. 이것 은 "에치 챔버 '의 청결 을 보장 해 주며, 잠재적 인 침전물 이" 웨이퍼' 로 옮겨지는 것 을 방지 해 주며, 이것 은 가공 실패 를 초래 할 수 있다. 전반적으로 LAM RESEARCH Vector는 NOVELLUS의 신뢰할 수있는 고성능 etcher/asher 도구입니다. 첨단 기술을 기반으로 하며, 에칭 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 안전성 및 오염 제어 기능을 통해 대용량 생산 워크플로우를 위한 강력한 툴이 됩니다.