판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9250686

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 다양한 재료 표면을 에치하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 모바일 기기 부품에서 컴퓨터 메모리 칩에 이르기까지 다양한 산업 응용 프로그램을 돕기 위해 만들어졌습니다. NOVELLUS Vector etcher/asher는 듀얼 빔 소스 기술을 사용하여 공백 및 에칭 심도를 최대화합니다. 이 이중 빔 기술은 에칭 재료에만 국한되지 않으며, 동시 레이어 증착에도 국한됩니다. LAM 리서치 벡터 (LAM RESEARCH Vector) 는 반 임계 (semi-atemperate) 및 온대 (temperate) 공정 챔버를 위해 설계되었으며, 코터 개발자에 메모리 칩, 금속 계층 등의 기판을 정확한 에칭 및 개발 프로세스를 위해 배치 할 수있는 일련의 프로세스 서셉터가 있습니다. 고급 듀얼 빔 소스 기술로 벡터 (Vector) 는 에칭 또는 레이어 증착 프로세스를 위해 기판을 약 1200 ° C ~ 2400 ° C 범위의 온도까지 가열합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 밀봉 된 챔버 내에서 단일 전송 로봇을 사용하며, 이는 최소한의 인간 상호 작용으로 시간당 수천 개의 기판을 옮길 수 있습니다. 광선 공급원 (Beam Source) 은 정확도가 높은 매우 작은 개구부를 만드는 데 도움이되며, 이중 빔 기술은 폐기물을 최소화하고 재료를 보존하는 데 도움이됩니다. NOVELLUS Vector는 직경 8 "~ 12" 의 웨이퍼 처리에 가장 잘 사용되며 산화, 질화, 금속화, 어닐링, 질화, 저온 확산 등의 복잡한 프로세스 작업을 처리 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스와 정교한 레이저 소스 기술은 최소한의 인간 상호 작용으로 정확하고 정확한 에칭을 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Vector는 다양한 재료에 대한 고품질 에칭 및 정밀 레이어 예금을 위해 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이중 빔 소스 기술 (dual-beam source technology) 과 밀봉 된 챔버 내부의 단일 전송 로봇 (single transfer robot) 은 복잡한 프로세스 작업을 처리 할 수 있으며, 작은 빔 오프닝은 높은 정확도로 이어집니다. 벡터는 직경 8 "~ 12" 의 웨이퍼를 위해 설계되었으며 정밀도 및 효율성으로 기판을 처리 할 수 있습니다.