판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244876

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 etcher/asher 장비입니다. 웨이퍼 제작 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 시스템입니다. 이 장치는 대용량 생산 라인을 위해 설계되었으며, 정확하고 안정적인 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공합니다. 인체 공학적 (ergonomic) 사용자 인터페이스를 갖춘 고급 단일 웨이퍼 (single-wafer) 기판 처리 스테이션이 있으며 다양한 웨이퍼 크기와 필터링 가스를 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Vector 기계는 고유 한 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 사용하여 반도체 표면을 에치하고 청소합니다. CVD 프로세스 (CVD process) 는 단단히 통제 된 환경에서 가스의 조합을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 얇은 층의 재료를 배치합니다. 이 과정을 통해 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (substrate) 사이에 고품질 인터페이스가 생성되고 더 매끄러운 서피스와 결함이 적습니다. 이 툴은 모듈식 (modular) 설계를 통해 새로운 기능을 손쉽게 확장하고 통합할 수 있습니다. 첨단 가스 제어 (Gas Control) 자산은 다운타임을 최소화하면서 프로세스 매개변수의 뛰어난 안정성과 제어를 제공합니다. 이 모델은 또한 독립적인 난방 제어 장비를 제공하여 공정 온도 안정성 (process temperature stability) 을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 하드웨어 구성이 있으며, 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 위한 여러 광 구성 요소와 일관된 결과를 제공하는 균일 한 증착 모듈이 있습니다. 이 장치에는 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 센서 (array of sensor) 도 있으며, 프로세스 효율과 품질을 유지하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH Vector 머신은 대규모 운영 범위, 높은 처리량 등 경쟁 시스템에 비해 몇 가지 뛰어난 이점을 제공합니다. 또한, 기판 처리 및 증착을위한 고급 기능으로 인해 다양한 반도체 제작 응용 프로그램에 이상적입니다. 마지막으로, 유연한 설계를 통해 다양한 유형의 운영 라인 및 프로세스와 손쉽게 통합할 수 있습니다.