판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239

LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 반도체 제조에 사용되는 에칭 또는 애싱 도구입니다. NOVELLUS Vector는 에칭 (etching) 이나 애싱 (ashing) 응용 프로그램뿐만 아니라 전체 프로세스 워크플로우를 최적화하도록 설계되었습니다. 이 장비는 고품질 장치 처리를 위해 정확한 유전체 에칭 및 산화물 증착을위한 기능을 통합합니다. 모듈 방식의 컴팩트한 디자인으로 LAM RESEARCH Vector는 소규모 생산 실행을 위해 빠르고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 높은 수준의 파운드리 (Foundry) 성능과 처리량으로 매우 안정적입니다. 이 시스템은 매우 단단한 프로세스 윈도우로 탁월한 균일성과 정밀도를 제공하여 높은 K 유전체 에칭, 로컬 인터커넥트 에치 (local interconnect etch) 또는 구리 간격 필러 에치 (copper gap filler etch) 응용 프로그램을 포함한 다양한 프로세스 레시피에서 이상적인 도구입니다. 또한, Vector의 강력한 처리 능력은 서비스 클러스터 내에서 고 K 유전체 에치 (high-K dielectric etch) 또는 퇴적 산화물 (deposited oxide) 과 같은 휘발성 재료를위한 최적의 도구가됩니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 NOVELLUS Vector 컨트롤과 독특한 빔 플라즈마 소스를 통합하여 탁월한 에치 레이트 제어, 균일성 및 정밀도를 제공합니다. 또한 프로세스 자동화 기능이 향상되어 변화하는 운영 계획에 신속히 대응할 수 있습니다 (영문). 이 제품은 잠재적인 방해물을 차단할 수 있는 강력한 프로세스 보안 기능을 제공하며, 고급 터널/슬라이드 바 (tunnel-bar) 설계는 향상된 처리량 및 항복 성능을 제공합니다. LAM 리서치 벡터 (LAM RESEARCH Vector) 는 프로세스 관리 도구의 확장된 통합을 통해 최대의 유연성을 제공하며 키 처리 매개변수를 제어합니다. 또한 Vector 는 고급 프로세스 제어 기능을 통합하여 최적의 프로세스 정확성과 균일성을 보장합니다. 여기에는 범용 레시피 관리 및 고급 프로세스 도량형 기능이 포함됩니다. 도량형 (metrology) 기능은 프로세스 정확성과 균일성을 보장하는 광범위한 매개변수를 제공합니다. 이 기계는 빠르고 반복 가능한 프로세스 최적화 및 높은 생산성을 위해 빠른 프로그래밍 기능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 운영자와 중요 장비를 잠재적 인 위험으로부터 보호하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구는 컨테인먼트 (containment) 와 레이저 안전 (laser-safe) 기술을 결합하여 안전한 웨이퍼 처리 환경을 보장합니다. 마지막으로, NOVELLUS Vector (NOVELLUS Vector) 는 직관적인 사용자 경험을 염두에 두고 설계되어 프로그래밍과 운영이 용이합니다.