판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 에칭/애싱 도구 (또는 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 장비) 입니다. 제품 라인 (Production Line) 에 손쉽게 통합할 수 있는 광범위한 프로세스 모듈을 통해 처리량을 높일 수 있도록 설계되었습니다. NOVELLUS Vector는 2 단계 프로세스를 갖추고 있습니다. 제 1 단계 에서는 산화제 와 "에찬트 '를 사용 하여" 웨이퍼' 의 최상층 을 제거 한다. 두 번째로, 고밀도 플라즈마 (HDP) 는 기존의 습식 화학 공정보다 훨씬 빠른 속도와 높은 해상도로 표면을 에치하는 데 사용된다. LAM RESEARCH Vector 시스템은 프로세스 효율성 및 가동 시간의 최대화를 위해 설계되었습니다. 이 프로세서는 프로세스 성능 및 속도에 악영향을 줄 수 있는 선형 (linear) 프로세서를 특징으로 합니다. 조정 가능한 매개변수 (adjustable parameter) 를 사용하여 프로세스 조건을 제어할 수 있으므로 프로세스 매개변수의 유연성이 향상됩니다. 또한 Vector 는 더 깨끗한 프로세스 환경을 제공하는 독보적인 엔클로저 (enclosure) 장치를 통해 더 높은 수준의 fidelity 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 단일 웨이퍼 방식을 사용하여 배치 처리가 필요하지 않습니다. NOVELLUS Vector의 최첨단 측정 및 제어 기능도 인상적입니다. 이중단계 프로세스 모니터 (Dual-Stage Process Monitor) 를 통해 여러 계층을 에칭할 때 프로세스 제어 및 프로세스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 웨이퍼 전체에 균일성을 보장하기 위해 고급 자동 정렬이 포함됩니다. 또한 LAM RESEARCH Vector 에는 에칭 프로세스를 모니터링하고 프로세스 최적화에 대한 피드백을 제공할 수 있는 자동 분석기 (Automated Analyzer) 가 함께 제공됩니다. 전반적으로 Vector는 높은 처리 성능을 위해 설계된 고급 에칭/애싱 머신입니다. 혁신적인 설계로 프로세스 효율성 및 가동 시간 극대화, 고급 측정/제어 기능 제공. 이 제품은 반도체 업계에 이상적인 툴로서 모든 웨이퍼 (wafer) 처리 시설에 대한 경쟁 우위를 확보할 수 있습니다.